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苏州建成6英寸MEMS中试线 填补国内空白

行业聚焦点中国仪表网2014年10月23日 15:24人气:5430

  【中国仪表网 行业聚焦点】今年9月,中国—新加坡苏州工业园区举办了一场具有特别意义的MEMS传感器产品交付会,苏州纳米科技发展有限公司将6英寸微纳机电制造(MEMS)中试线的首个产品正式交付客户。随着产品的交付,意味着国内首条全开放、市场化运作的6英寸微纳机电制造(MEMS)中试线正式运营,该中试线的投用将为我国中小MEMS企业的发展带来福音。

  
  苏州6英寸微纳机电制造(MEMS)中试线,由苏州纳米科技发展有限公司建设,超净场地、厂务配套设施、研发实验室、公共服务等场地共16000平方米,其中超净工艺场地5200平方米,该中试线是江苏省“十二五”重大科技平台项目,也得到了工信部“工业转型升级服务平台项目”支持。
  
  苏州纳米科技发展有限公司负责人、苏州市集成电路行业协会秘书长张希军表示,中试线不仅是中小企业的创新平台,更弥补了我国MEMS产业创新链的空白。“国内中小MEMS企业发展面临很多困难,其中一个关键的难题是产品的工程化与中试生产,规模代工厂门槛较高,高校院所的实验室工程化能力较弱或开放度不够,产品的工程化中试已成为影响中小MEMS企业规模化成长的瓶颈。”
  
  据了解,这条中试线,与科研机构的概念验证、单步工艺能力不同,主要开展中试和小批量生产业务,前端与产品样品衔接,后端与规模代工厂衔接,是一个完全工业级别的中试线,不仅可以帮助中小企业创新,还可以促进他们规模化发展。
  
  苏州6英寸MEMS中试线采用市场化、全开放的运作模式,主要开展MEMS产品工艺研发、MEMS加工、部分封装测试、专利运营、设备租赁、超净场地租赁、工艺技术培训等十多项专业服务,目前已成功导入压力传感器、微镜传感器、微流体传感器等产品,样品测试结果良好,基本具备了MEMS芯片的开发加工能力。
  
  当前,我国正处在MEMS产业格局形成、产业化加速发展的时期,江苏MEMS产业资源集聚度最高,正成为国内该产业最具吸引力的区域。苏州在MEMS产业布局多年,目前形成了MEMS传感器的芯片设计、研发、中试、封装测试的全覆盖的产业特色,涌现了晶方半导体、敏芯、明皜等一批业界知名公司。
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