【仪表网 行业聚焦点】据悉，由上海计量科学研究院牵头承担的国家重大科学仪器设备开发专项“跨尺度微纳米测量仪的开发和应用”日前顺利获得中央财政专项经费支持。该项目总经费7681万元，其中中央财政专项经费投入3731万元，项目截止日期为2018年10月。
微纳米技术是21世纪重要的科学技术之一，它将在新世纪引起一场新的工业革命。而微纳米测量技术是微纳米技术的重要组成部分，它对于微纳米材料的发展、微纳米器件和系统的研究与开发具有十分重要的意义。目前微纳米器件在工业生产、科学前沿、社会民生中的应用越来越广泛。德国、日本等发达国家已有的微纳米测量仪主要以科学研究为主，存在着测量方法单一，实际适用性受限制等不足。
该项目将通过攻克微联动多轴驱动和多测头集成、基于原子沉积光栅纳米量值溯源、双角度倾斜式场扫描等关键技术，研制出具有自主知识产权、功能健全、质量稳定可靠的跨尺度微纳米测量仪，并达到形成年产50台生产能力，累计销售收入5000万元的目标，为我国微纳米制造检测行业发展提供技术支撑。
其实，诸如“跨尺度微纳米测量仪”等微型智能仪器仪表，在科学仪器仪表发展中占据越来越重要的地位。在其技术不断成熟，价格不断降低中，应用领域也将不断扩大。可以想象在未来，它不但能够具有传统仪器功能，而且还能在自动化技术、航天、军事、生物技术、医疗领域起到独特的作用。
