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中科院完成适用于多种EMS传感器件研发工作

仪表研发中国仪表网2016年05月09日 11:35:39人气:22178

  【中国仪表网  仪表研发】近日,中科院微电子研究所科研团队联合江苏艾特曼电子科技有限公司,借助中科院微电子所8英寸CMOS工艺平台,完成了“高精度三轴加速度计”产品工艺的开发与验证,经使用测试,器件性能表现良好,符合设计预期,可为MEMS设计单位提供产品服务。
  

  目前,中科院微电子所科研人员针对产业界对MEMS代工的需求,以高精度三轴加速度计开发为牵引展开攻关,致力于在现有8英寸硅工艺线上,实现与CMOS工艺兼容的通用MEMS加工平台技术,成功开发出大深宽比MEMS结构刻蚀、MEMS与ASIC晶圆堆叠、TSV电学连接及晶圆级盖帽键合封装等关键工艺技术的量产,最终实现了TSV的ASIC晶圆、MEMS结构晶圆及盖帽晶圆的三层键合工艺,顺利交付首款三轴加速度计产品。
  
  目前,中科院微电子所在现有8英寸硅工艺线基础上,已经形成了适用于多种MEMS传感器件(例如高精度两轴、三轴加速度计,高度计,压力、红外热敏等器件)加工的Post CMOS-MEMS标准工艺,并实现了该工艺技术平台化的开发,可为MEMS设计单位提供产品工艺研发与批量加工服务。

       (原标题:中科院研发高精度三轴加速度计取得一定技术进展)
(本文来源:中科院网站转载请注明出处
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