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日本电子发售新型可获取并分析三维图像电子显微镜

展会前线中国仪表网2008年01月29日 08:57人气:588

 日本电子上市了电子显微镜(SEM)新产品——复合光束加工观测装置“JIB-4500”,该产品具备获取并分析表面和内部三维图像的能力,除了聚焦离子束(FIB)加工和SEM观测功能外,还可利用能量分散型X射线分析装置(EDS)和电子背散射衍射(EBSD)系统进行分析。售价为7000万日元。

  可以一边进行FIB加工,一边通过SEM图像观测加工状况。可用于观察内部构造,或者制作薄膜试验材料。除了可以自动制作截面试验材料外,还可以安装多个旨在制作试验材料保护膜的气体注入系统。针对电荷积累剧烈,至今难以观测的非导电性试验材料等方面,配备了低真空SEM模式。

  FIB的加速电压为1k~30kV,倍率为100~30万倍。作为离子源,使用了液体金属镓。加速电压为30kV时解析图像的分辨率小于5nm,采用了30nA的大电流模式。

  另一方面,SEM的加速电压为0.3k~30kV,倍率为5~30万倍。电子枪的阴极使用了6硼发射尖锥(LaB6)。这样当加速电压为30kV时,解析图像的分辨率为2.5nm。加速电压为30kV时最大发射电流为1μA。配备用X、Y、Z轴分别为76mm、76mm、5~48mm的试验材料台。
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