在绝缘体衬底上直接制备石墨烯研究方面取得新进展
仪表上游
2017年06月15日 14:18:45
来源：上海微系统与信息技术研究所 人气：18278
【中国仪表网 仪表上游】近期，中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室SOI(绝缘体上硅)材料与器件课题组在绝缘体衬底上直接制备石墨烯研究方面取得新进展。
图片源自网络
制备绝缘体上石墨烯是推动石墨烯在微电子领域应用的重要基础条件，针对这一需求，SOI材料与器件课题组的研究人员使用锗薄膜做催化剂，通过化学气相沉积(CVD)方法成功在二氧化硅、蓝宝石、石英玻璃等绝缘衬底上制备出高质量单层石墨烯材料，并将其成功应用于除雾器等电加热器件。相关研究成果以Germanium-assisted Direct Growth of Graphene on Arbitrary Dielectric Substrates for Heating Devices 为题近期在Small上发表(DOI: 10.1002/smll.201700929)。
石墨烯，由于其优异的物理性质一直受到学术界的广泛关注，为了实现在微电子领域的应用，石墨烯薄膜需要转移或直接生长到绝缘衬底上。直接在绝缘衬底上生长石墨烯，有利于获得晶圆级石墨烯材料，对推动石墨烯材料在集成电路等领域的应用具有重要意义。
但由于绝缘衬底本身不具有催化能力，使用Cu(铜)、Ni(镍)等金属催化剂又难免引入金属沾污，因此该项研究一直面临许多挑战。上海微系统所信息功能材料国家重点实验室的汪子文、薛忠营等人基于锗衬底上生长高质量单层石墨烯的研究基础，在绝缘衬底上预先沉积锗薄膜作为催化剂，通过优化石墨烯生长温度和生长时间，在完全蒸发掉锗薄膜的同时实现单层石墨烯在绝缘衬底表面的全覆盖。
在研究中他们还发现，石墨烯的形状完全依赖于锗薄膜的形状，因此该方法既可以实现晶圆级石墨烯薄膜的生长，也可以通过预先设计的锗图形定义后续石墨烯器件所需图形化的生长。
获得的绝缘体上石墨烯材料表现出良好的电学性能，初步展示了其在除雾、电致变色等加热器件方面的应用。该项研究为获得晶圆级绝缘体上石墨烯奠定了基础。
该项工作得到了“万人计划”青年拔尖人才项目、中科院前沿科学重点研究项目和上海市学科带头人计划的资助。
(原标题：上海微系统所锗辅助绝缘体上石墨烯材料生长研究获进展)
关注本网官方微信 随时阅专业资讯
仪表站APP 让生意更简单
@仪表网
全年征稿 / 资讯合作
联系邮箱：ybzhan@QQ.com
- 凡本网注明"来源：仪表网"的所有作品，版权均属于仪表网，未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用上述作品。已经本网授权使用作品的，应在授权范围内使用，并注明"来源：仪表网"。违反上述声明者，本网将追究其相关法律责任。
- 本网转载并注明自其它来源的作品，目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性，不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时，必须保留本网注明的作品来源，并自负版权等法律责任。
- 如涉及作品内容、版权等问题，请在作品发表之日起一周内与本网联系，否则视为放弃相关权利。
- 合作、投稿、转载授权等相关事宜，请联系本网。联系电话：0571-87759945，QQ：1103027433。
- 128项申请立项的行业计量技术规范项目公示
- 奶粉行业发展趋于集中 喷雾干燥设备迎来考验
- 福建物构所稳定MOF材料研究获进展
- 克服诸多困难 南方电网境外项目、机构复工18项
- 总投资74.23亿元的金沙水电站复工
- 2020-24年全球汽车电池市场年复合增长率近5%
ABB中国：复工，冬将尽，春可期从2月10日开始，ABB中国各地分公司和工厂陆续正式复工。自新[详细]
威胜信息上市：募资近7亿元威胜信息技术股份有限公司1月21日在科创板上市，发行价格13.[详细]
能源计量服务发展 推动产业改造提升浙江省计量科学研究院依托国家城市能源计量中心（浙江）、浙[详细]
福建计量院承担的市场监管总局科技计划项目通过验收2020年1月7日，福建省计量院依托福建省力值计量测试重点实验[详细]
- 半自动生化分析仪仪器安装、操作方法
半自动生化分析仪仪器安装、操作方法[详细]
疫情防控，废弃口罩如何处理？疫情防控，废弃口罩如何处理？[详细]
老故事《匠人精神》20200113期：华恒仪表央视老故事《匠人精神》20200113期：华恒仪表[详细]
我要评论
所有评论仅代表网友意见，与本站立场无关。