东方测控

行业企业市场标准科技新品会议展会政策原创

光电所提出微纳结构三维形貌重建方法 可用于在线检测

仪表研发中国仪表网2017年06月29日 13:37:17人气:14815

  【中国仪表网 仪表研发】微纳器件在半导体、生物科学等领域中的迅速发展促进了人们对微纳结构的不断探索和改进。测量作为衡量器件性能的重要手段,对微纳结构的三维形貌检测也变得日趋重要。
 


单个像素点时域调制度分布曲线和三维形貌重建结果
 
  得益于微小的结构和敏感的量子效应,微纳电子器件在信息感知、物质探测等方面具有先天的优势。相比于传统器件,其具有灵敏度高、能耗低、尺寸小、易集成的优点,具有非常广阔的市场前景。
 
  光电所科研人员提出一种基于白光显微干涉术的形貌恢复算法:利用二维傅立叶变换获取单帧干涉图像频域信息,提取基频频谱作逆傅里叶变换,最后获取条纹的时域调制度信息。通过压电陶瓷纵向高精度扫描,获取每个像素点的调制度分布,进而利用极值点得到单个像素点的高度信息,从而实现微纳结构的三维形貌重建。该方法优势在于能有效消除光源光强不稳定、外界环境干扰等不利因素带来的误差,较大程度上提升检测精度和系统稳定性,未来有望应用于在线检测。
 
  该项目得到国家科学自然基金和光电所研究生创新基金支持。
 
  (原标题:光电所发展出一种基于白光显微干涉术时域调制度的微纳结构三维形貌重建方法)
(本文来源:中国科学院光电技术研究所转载请注明出处
关注本网官方微信 随时阅专业资讯
仪表站APP 让生意更简单
@仪表网

全年征稿 / 资讯合作

联系邮箱:ybzhan@QQ.com

我要评论

所有评论仅代表网友意见,与本站立场无关。

  • 凡本网注明"来源:中国仪表网"的所有作品,版权均属于中国仪表网,未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用上述作品。已经本网授权使用作品的,应在授权范围内使用,并注明"来源:中国仪表网"。违反上述声明者,本网将追究其相关法律责任。
  • 本网转载并注明自其它来源的作品,目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时,必须保留本网注明的作品来源,并自负版权等法律责任。
  • 如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起一周内与本网联系,否则视为放弃相关权利。
  • 合作、投稿、转载授权等相关事宜,请联系本网。联系电话:0571-87759945,QQ:1103027433。
成丰仪表——中国第三代流量计领军品牌


返回首页