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MEMS技术风险企业正在开发5轴运动传感器

新品抢鲜中国仪表网2008年07月08日 09:56人气:4189

    MEMS技术风险企业——美国Virtus Advanced Sensors(VAS)披露,该公司正在开发5轴运动传感器(Motion Sensor)。

  VAS表示,该传感器用一枚芯片实现了3轴加速度传感器2轴角速度传感器(陀螺仪)的功能。该项技术将应用于由MEMS技术生产出的重锤上,此重锤将用于运动检测。只需要一个重锤即可同时检测出加速度和角速度。而此前要实现相同功能,需要加速度传感器与角速度传感器两枚芯片。由于集成为一枚芯片,有望实现传感器的小型化、提高可靠性以及降低成本,还可开拓新的应用。

  另外,08年年初,VAS任命曾在美国德州仪器|仪表公司(TI)任职的Mark Boysel担任首席科学家。Mark Boysel曾于1985~1996年期间在TI从事开发用于“DLP(Digital Light Processing)”MEMS组件的DMD工艺。目前正与Technical Advisory Board的Albert Pisano等人联手,加紧开发新组件。

  为了量产已开发的3轴加速度传感器,VAS公司与MEMS代工厂商——台湾亚太优势微系统股份有限公司(APM)展开了合作。另外,在5轴运动传感器方面,Wako公司已就该产品与6轴产品(3轴加速度与3轴角速度)获得了专利,因此有看法认为VAS的产品采用了该项专利。
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