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MOPA-ns激光器技术等三项项目通过科技成果评价

仪表研发 2019年09月11日 11:22:27 来源:仪表网人气:18332
  【仪表网 仪表研发】2019年9月9日,中科合创(北京)科技成果评价中心组织专家,在北京召开了由英诺激光科技股份有限公司完成的“AONANO-XP系列MOPA-ns激光器技术”等三项项目科技成果评价会。
 
  英诺激光股份有限公司成立于2011年,是国家高新技术企业,总部位于深圳市南山区科技园,专注于微加工领域激光器的研发、生产、销售及以激光模组形式为客户提供定制化微加工解决方案。公司是全球少数同时具有纳秒、亚纳秒、皮秒、飞秒级微加工激光器核心技术和生产能力的工业激光器生产厂商,是全球少数实现工业深紫外纳秒激光器批量供应的生产商之一。产品包括DPSS调Q纳秒激光器、超短脉冲(皮秒、飞秒)激光器和MOPA(纳秒/亚纳秒)激光器,涵括从红外到深紫外不同波段、从纳秒到飞秒多种脉宽。
 
  专家组审阅了技术方提供的技术资料,听取了技术研究汇报,经质询、答疑和讨论,形成相关意见。
 
  其中,“AONANO-XP系列MOPA-ns激光器技术”提供的技术资料基本齐全,符合科技成果评价要求;该技术设计并采用主振荡器功率放大(MOPA)结构的光纤激光器,输出线性偏振红外,并转换成绿光、紫外到深紫外波段的纳秒脉冲,光束质量M2小于1.2、脉冲宽度100ps~5ns可调、脉冲重复频率10kHz~2MHz可选、峰值功率大于25kW;该技术在MOPA结构的光纤激光器中使用自主研发的多程光纤放大器,获得了平均功率超过120W的1064nm@1MHz红外光的纳秒输出。在太阳能等领域得到应用;该技术获得多项专利。专家组同意通过科技成果评价,整体技术达到国际先进水平。
 
  AOPICO系列高功率紫外皮秒激光器提供的技术资料基本齐全,符合科技成果评价要求;该技术利用SESAM锁模技术在光纤中产生皮秒脉冲,基于MOPA结构进行放大,然后通过固体放大器以及非线性转换模块,输出紫外波段的高能量皮秒脉冲,光束质量M2小于1.2、脉冲重复频率从单脉冲至1.5MHz、平均功率35W@800kHz;该技术设计并采用了光纤种子源、固态放大技术,兼具了两者技术优势。同时,自主设计了工作频率高于1MHz的高速电路和相关软件,激光器的输出脉冲能量不随工作频率改变而改变。在消费类电子等领域得到应用;该技术申请专利多项。专家组同意通过科技成果评价,整体技术达到国际先进水平。
 
  FORMULA系列高功率紫外纳秒激光器技术项目提供的技术资料基本齐全,符合科技成果评价要求;该技术利用腔内三倍频技术,实现了平均功率高于30W的紫外激光输出,从红外到紫外的能量转换效率接近50%;该技术采用自主设计的激光谐振腔、温度控制技术、以及基于FPGA的高速信号处理,使得激光器具有光束质量M2小于1.2、光斑圆度大于95%,以及脉冲峰值功率稳定性小于2%(rms),12小时平均功率稳定性小于0.5%(rms)。在消费类电子领域得到应用;该技术获得多项专利。专家组同意通过科技成果评价,整体技术达到国际先进水平。
 
  (资料来源:英诺激光科技股份有限公司、中科合创(北京)科技成果评价中心)
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