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阿尔卑斯推出业界最小压电式MEMS压力传感器

专题报道中国仪表网2008年11月27日 09:27人气:418

阿尔卑斯电气推出了业界最小的压电式MEMS压力传感器。尺寸方面,压力传感器单个元件的小型型号为2.5mm×2.5mm×0.7mm。内置放大器的型号为3.5mm×3.5mm×1.0mm。主要用于检测气压及高度等绝对压力。   压力检测的原理如下。来自外部的压力会使压力传感器的隔膜弯曲。如果隔膜弯曲,在隔膜上形成的压电电阻元件就会变形。这样一来,就可以将变形产生的电阻变化作为电压信号读取出来。   压电式MEMS压力传感器可轻松实现小型化的原因是,可直接将隔膜的弯曲量当作压电电阻元件的电阻变化来捕获,从而实现简单的元件结构。另外,通过采用薄膜工艺技术、微细加工技术及封装技术,也可减小传感器元件尺寸,使其达到业界最小。   阿尔卑斯电气表示,通过采用以下3项技术,减小了压力传感器性能的不稳定性。这3项技术分别为,通过优化蚀刻条件,开发出了可形成稳定腔体(Cavity)结构的技术;实现了可减小外应力影响的Si-Si密封接合;采用了对温度变化适应性强的陶瓷材料。
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