1、招标条件
项目概况:包1自动曝光机8
包2匀胶机7
包3显影机12
包4品目1去胶清洗机14
包4品目2去蜡清洗设备2
包5品目1ACE清洗机(4槽)2
包5品目2ACE清洗机(2槽)1
包5品目3酸类清洗机（2槽BOE+2槽ITO）1
包5品目4酸类清洗机（4槽BOE）1
包5品目5酸类清洗机（2槽511+2槽HCL）1
包5品目6酸类清洗机（3槽511+1槽511洗版）1
包5品目7酸类清洗机（1槽511+1槽511洗版）1
包5品目8去蜡清洗设备 1
包6直立式旋干机12
包7直立式旋干机20
包8自动干法刻蚀机（ICP）11
包9溅射镀膜系统3
包10快速退火炉9
包11电子束蒸镀系统10
包12合金炉4
包13等离子体增强化学气相沉积设备（PECVD）19
包14蒸镀DBR反射膜工艺(DBR) 3
包15等离子去胶机（Asher）15
包16膜厚测试仪2
包17金相显微镜9
包18全自动目检机COW（AOI）7
包19金属溅射镀膜系统2
包20椭偏仪2
包21品目1高温老化系统（500mA/1K/10V）2
包21品目2常温老化系统（500mA/1K/10V）2
包21品目3高压老化电流源（200mA/1K/60V）3
包22自动推力机2
包23品目1吸附式氮气纯化器3
包23品目2吸附式氢气纯化器2
包23品目3吸附式氨气纯化器6
资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0664-1840SUMECK68/13
招标项目名称:等离子体增强化学气相沉积设备（PECVD）
项目实施地点:中国福建省
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
包1	自动曝光机	8	单台月产能大于70000片，计算方法：WPH*24*30*0.85(系数) (含套刻产能：5秒曝光时间，及基片厚度补偿时间)
包2	匀胶机	7	产能：单台月产能≥56000片 单台月产能计算公式：WPH(一小时产量)*24（小时）*30（天）*0.85(系数) ≥56000片
包3	显影机	12	显影CUP单元≥4组
包4品目1	去胶清洗机	14	制程槽：SPR（循环）*2、IPA（循环）*1、QDR
包4品目2	去蜡清洗设备	2	去蜡清洗设备必须手动自动可切换操作
包5品目1	ACE清洗机(4槽)	2	制程槽：ACE（循环）*4、QDR*4
包5品目2	ACE清洗机(2槽)	1	制程槽：ACE（循环）*2、QDR*2
包5品目3	酸类清洗机（2槽BOE+2槽ITO）	1	制程槽：BOE*2（循环）、ITO*2（循环）、QDR*4
包5品目4	酸类清洗机（4槽BOE）	1	制程槽：BOE（循环）*4,QDR*4
包5品目5	酸类清洗机（2槽511+2槽HCL）	1	制程槽：511*2（循环）、HCL*2（循环）、HQDR*2,QDR*2
包5品目6	酸类清洗机（3槽511+1槽511洗版）	1	制程槽： 511（循环）*4,HQDR*4
包5品目7	酸类清洗机（1槽511+1槽511洗版）	1	制程槽： 511（循环）*2,HQDR*2
包5品目8	去蜡清洗设备	1	管路系统配置于设备后下方之管路区
包6	直立式旋干机	12	机台马达需采用无碳刷直流马达
包7	直立式旋干机	20	机台马达需采用无碳刷直流马达
包8	自动干法刻蚀机（ICP）	11	单台两套ICP工艺腔室
包9	溅射镀膜系统	3	靶材与衬底之间有挡板保护（工艺步骤前挡板开启保护，保证低离子损伤）。
包10	快速退火炉	9	芯片承载盘(SiC) ：SiC材料可放置4吋晶片9片（含）及以上
包11	电子束蒸镀系统	10	蒸发源坩埚材质：钨（40cc*6），蒸镀过程相邻坩埚不会互相污染。
包12	合金炉	4	可加工管数 ：3个以上（含3个）
包13	等离子体增强化学气相沉积设备（PECVD）	19	气体流量计包括但不限于SiH4, N2O, O2, NH3, CF4, N2气体。
包14	蒸镀DBR反射膜工艺(DBR)	3	射频中和器：最大射频功率：150W（13.56MHz）最大中和電流：2800mA
包15	等离子去胶机（Asher）	15	生产治具： 一用一备
包16	膜厚测试仪	2	测量厚度：5nm~40um
包17	金相显微镜	9	最大可放置样品高度:90mm，实现更大高度样品观察；
包18	全自动目检机COW（AOI）	7	可用于4英寸晶片尺寸使用，同时兼容6寸
包19	金属溅射镀膜系统	2	具有单独DC，单独RF电源
包20	椭偏仪	2	微光斑（70°入射角）：最小尺寸≤300um X 900um。
包21品目1	高温老化系统（500mA/1K/10V）	2	配LED PCB专用测试排线(含耐高温连接器，最高耐温不小于200度）
包21品目2	常温老化系统（500mA/1K/10V）	2	配LED PCB专用测试排线(含耐高温连接器，最高耐温不小于150度）
包21品目3	高压老化电流源（200mA/1K/60V）	3	试验数据可以保存于PC 机中，便于调用，可输出试验报表，绘制数据变化 曲线。
包22	自动推力机	2	用途：适用于2寸片、4寸片及6寸片推力及拉力作业，以验证电极结合度状况
包23品目1	吸附式氮气纯化器	3	纯化对象及纯化后纯度：氮气/99.9999999%
包23品目2	吸附式氢气纯化器	2	纯化对象及纯化后纯度：氢气/99.9999999%
包23品目3	吸附式氨气纯化器	6	纯化对象及纯度：NH3/99.9999999%

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1、投标人如为代理商，则必须提供企业法人营业执照副本；
2、投标人如为代理商，则必须提供制造商授权函（如果是针对本次项目的专项授权则必须是正本原件，不接受彩打件。如果是非专项授权可以提供复印件，原件备查）
3、投标人开户银行在开标日前三个月内开具的资信证明原件或该原件的复印件
4、如果投标文件是由单位负责人授权的被授权代表签署，则需要提供《单位负责人授权书》，授权书中必须要有单位负责人的手写签名或法人章。（如果是针对本次项目的专项授权则必须是正本原件，不接受彩打件或复印件。如果是非专项授权可以提供复印件，原件备查）
如果投标文件直接由单位负责人签署，则不需要授权书。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以