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气体质量流量传感器AWM40000 系列
AWM40000 系列包括不带放大和放大/ 信号处理的信号。AWM42150V 和AWM42300,使用和AWM2000 相同的电路。AWM43300V 和AWM43600V 使用和AWM3000 相同的电路。AWM43600V 为6SLPM 器件。
主要特点:
1)多个集中安装,O形密封圈
2)陶瓷流量管(无引气管),0-1000sccm
3)塑料流量管(无引气管),0-6SLPM
4)高共模压力(150psi)
5)工作温度可至
6)零点和满量程高稳定性