FitTech裸晶测试仪整合型LED晶粒晶圆点测机
标准配备
1.机构部分：
X、Y、Z、θ轴（精度详见规格）
Chuck table（非导电盘&导电盘，共2块）
XYZ 调整座 2 座
Edge Sensor 2 座
彩色CCD 1组，1倍镜头，供扫描定位用、供探针定位、外观检视用
掀开式遮光罩
电控箱
分光卡：350nm-1050nm

详细介绍

FitTech裸晶测试仪整合型LED晶粒晶圆点测机

型号：APT 6000

标准配备

1. 机构部分：

X、Y、Z、θ轴(精度详见规格)

Chuck table（非导电盘&导电盘，共2块）

XYZ 调整座 2 座

Edge Sensor 2 座

彩色CCD 1组，1倍镜头，供扫描定位用、供探针定位、外观检视用

掀开式遮光罩

电控箱

分光卡：350nm-1050nm

选配部分：

清针模块 (毛刷 & 贴片 & 吹气)

è 毛刷及贴片为耗材，依客户的使用状况决定更换次数

ESD 模块：HBM/MM ± 4 KV

è Relay 寿命保证：6个月或2亿次(以先到为主)

2. 测试机部份

电源供应器：SF

Tester基本架构图如下：APT6000

3. IPC 部分

*处理器：双核心 CPU G3420 3.2 GHz

存储器：4G

硬盘：500G

17”LCD或以上荧幕、光学鼠标、键盘

作业系统 : Win 7

l 通用规范.

项目	描述说明	规格
工作面积	2~7.8英寸	198mm
卡盘	平面化	±0.01 mm
X 轴	大行程	200 mm
	分辨率	0.5 μm
	精度	< 10 μm over 100 mm
Y 轴	大行程	300 mm
	分辨率	0.5 μm
	精度	< 10 μm over 100 mm
Z 轴	大行程	8 mm
	分辨率	1.2 μm
	精度	< 5 μm over 30 mm
θ axis	轴旋转范围	± 30°
	分辨率	0.0018°
	精度	< 10 μm over 160 mm
机器视觉	摄像机	CCD
	照明	遥控
	焦距	手动调整
	校准	自动校准
	CCD 分辨率	1280*960 像素
	透镜放大倍数	1x
	屏显	6.4mm × 4.8 mm

l 测试规格.

l 测量表 : SF

l 厂务需求

项目	单位	规格
机器尺寸W × D × H	mm	930x900x1670
机器重量	Kg	600
电源	V	110
电源电流	A	13
气压	Kgf/cm²	5
空气流量	NL/min	5
空气管直径	mm	ψ10
真空压力	mmHg	-660
真空流量	NL/min	40
真空管直径	mm	ψ6