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HidenEQP等离子体表征分析仪是一台结合质量和能量分析的仪器,用于分析等离子体中正、负离子、中性粒子以及自由基的种类和能量分布
三级过滤四极质谱仪PIC是带脉冲离子计数检测器的3F质谱仪,具有高灵敏度,HidenIDP是三级过滤质谱/能量分析仪,用于研究ESD、PSD
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