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伯东企业(上海)有限公司


干式真空泵 A 100 L,A 200 L

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更新时间:2022-04-27 12:34:23浏览次数:316次

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产品简介

上海伯东销售维修 Pfeiffer 干式真空泵(多级罗茨泵)A 100 L-A 200 L, 用于洁净制程的整体式干泵, 紧凑设计, 大抽速, 低能耗, 满足半导体行业机台内直接安装和快速抽空的设计要求, 是load-lock、传送腔及其他非腐蚀性工艺的解决方案.干式真空泵 A 100 L-A 200 L平均故障间隔时间超过 195000 小时, 提供干燥无尘的洁净真空. 低噪音和低振......

详细介绍

干式真空泵 A 100 L,A 200 L 产品优势:

上海伯东 Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L-A 200 L 主要优点:

1.高气流量,大抽速

2.结构紧凑,占地面积小

3.易于集成,运行成本低

4.低噪音和低震动,无油无尘

5.即插即用系统:集成型监察装置

6.干式真空泵 RS232 / RS485 接口可选

关键词:真空泵

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