伯东企业（上海）有限公司
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上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 霍尔离子源 eH 系列属于宽束型离子源, 散射角度45.霍尔离子源气体流量可选 2-25sccm/ 2-50sccm/ 2-50sccm/ 2-75sccm/ 5-100sccm 等不同级别.霍尔离子源电流可选 5A/ 10A/ 12A/ 15A/ 20A 等.霍尔离子源高浓度提高镀膜沉积速率, 低动能减少离子轰击损伤表面......
KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列产品特性:
1.无栅极
2.高电流低能量
3.发散光束 >45°
4.可快速更换阳极模块
5.可选 Cathode / Neutralize 中和器
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