气体质量流量控制器适用于低压损应用环境、泄漏测试，也能缩短50scccm或更低流速条件下的气动响应时间。能快速、精准地确定稳定的流量，无须温压补偿，直接测出流体的质量流量。
气体质量流量控制器既可进行气体流量计量工作，也可用于过程控制领域，特点是：没有可动部件；压力损失小；量程比宽；精度高；可靠性高；安装简单，操作方便。
在使用气体质量流量控制器进行作业时，有几个方面我们应该要注意的：
当仪表的工作条件变换时，对仪表的零位应重新加以调整。同时，仪表的导管必须水平安装，要用水平仪校准。否则将增大工作条件变化对零位漂移的影响。机架更不可有震动或摇摆等情况故不宜在船舶上使用。
流量范围内的大量测试数据进行关联运算，用小二乘法原理求直线回归方程，其相关系数λ值均在0.999～0.9999范围内，证明仪表具有良好的线性度。但线性度与量程大小有着流量越大，非线性越严重，所以一般把量程限定在0～4标升/时以内，以确保良好的线性度。为了能测量大流量而又保证线性度，质量流量控制器可采用分流原理来扩展仪表的量程。如采取旁路管、文丘利管、孔板等配合使用，量程可分别扩大到每小时几十、几百、几千标升，直至几万标立方。
虽然真实气体的比热随压力的不同而有变化甚至某些气体的变动幅度还比较大，但质量流量控制器的测量精度仍能保持桂一定范围内。
导管材质的选择，除了考虑耐腐蚀性以外，以选用导热性能较好的材料为佳。
由于质量流量控制器这类仪表必须在气体比热相对稳定的情况下才能进行正常工作所以凡是气体成分不稳定、气体*带雾沫以及工作条件逼近气体的液化临界区等情况由于比热值很不稳定，均不宜使用这种仪表。
