MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器
采用内置气动截止阀,适用于高真空应用。将空气管线连接到截止阀上,防止在设定点为零时出现污染情况。
简单升级老化的热式流量控制器
艾里卡特MCE或MCV系列真空气体质量流量控制器是真空设备。MCE系列产品的特征如下:与我们标准质量流量控制器的控制响应速度一样快,外形包括1/4″ VCR焊接接头且能与SEMI标准气体质量流量控制器实现端对端的匹配连接。
MCV和MCE联系紧密,采用内置气动截止阀,适用于高真空应用。将空气管线连接到截止阀上,防止在设定点为零时出现污染情况。
- 多功能。监控流速的同时控制压力;可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
- 连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
- 耐用。MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。
更多产品信息请查看质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器。
- Specs
- 定制
- 零件编号
- Applications
性能
- 可用量程:大0-20 slpm;小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,请参见零件编号标签)
- 可调比:200:1(MCE/MCV)或者100:1 (MCES/MCVS)
- 标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
- 高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
- 可重复性:0.2%满量程
- 标准控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
- 气动阀漏气率(仅MCV系列):1 x 10-9 atm scc/sec(大值,氦气)
- 无需预热时间
工作条件
- 兼容气体:98种(MCE/MCV系列)或130种(MCES/MCVS系列)预置可选气体;利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
- 工作温度:-10°C至+60°C
- 大内部压力(静态):145 psig(160 psia)
- 耐受压力:175 psig(190 psia)
- STP/NTP:用户可选(默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)
MCE或MCV系列包装清单:
- MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器(电源需另行订购)
- NIST可溯源校准证书
- 艾里卡特操作说明书
配件(需另行订购)
- 过程端口接头和过滤器
- 电源
- 通讯线缆和转换线缆
- BB3和BB9多点式集线盒
- Flow Vision软件