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罗茨泵机组 - 干式、油式的多级泵
罗茨泵与多级前级泵相结合。该泵站的高抽速使得较高的极限压力成为现实。
干式罗茨泵站是面向高要求工艺(例如半导体行业)的解决方案。减少了保护设备的泵站可用于需求稍松的工艺,例如装载互锁应用,或在溅射工艺中用作前级泵。从小真空室到太能阳技术大吞吐量和显示面板制造,我们都可以提供解决方案。
罗茨泵机组 - 干式、油式的多级泵
将传统罗茨泵与油润滑旋片泵相结合。这些泵组提供良好的真空度,同时有较高的抽速。将旋片泵与罗茨泵结合以获得泵组,这种方式可谓经典解决方案,可以实现真空室的快速排空和中高真空下的工艺气流传输。对于许多行业工艺而言,使用油封前级泵仍然是的选择,因为就购买价格以及产品生命周期成本而言,它代表了耐用和成本效益的解决方案。
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