Guardian EIES 控制器 可编程自动化控制器 返回列表页

Guardian EIES 控制器可将沉积速度控制在 0.1 到 10,000 Å/s 范围内。它可以操作一个或两个传感器，多 8 个光输入，并控制多 8 个沉积源，因此能够同时沉积多 8 种材料。Guardian EIES 控制器

是光伏模块、有机发光二极管、光伏、超导薄膜以及分子束外延制造等应用的理想之选。

Guardian Codeposition 系统基于电子碰撞发射光谱 (EIES)。通过运用 EIES，要沉积的材料在热离子发射体的作用下生热，从而产生光子。    产生的光通过滤光器，到达光电倍增管 (PMT)检测仪，光电倍增管检测仪可以测量通过的波长的发射强度。  然后 INFICON Guardian 控制器产生  信号来控制该材料源。配备了合适滤光器的其它检测仪可用于多种材料。  

一套完整的 Guardian 系统至少包括一个传感器、一个 PMT 检测仪、一个滤光器、一个 Guardian 控制器单元以及一台安装了 Guardian 软件的电脑（由用户提供）。    EIES 通常用于控制多种材料的沉积，因此，大多数 EIES 系统还包括其他传感器、检测器、光学器件（例如分裂器）以及 QCM，QCM 用于校准或控制某些材料的沉积速率。    如需关于典型系统的更多信息，请参阅下面的 Downloads（下载）选项卡中的《Guardian 配置指南》。

要配置 Guardian 共沉积系统，需要考虑以下几点
沉积材料的初级和二级发射波长为多少？

如果不同材料的峰值过于  相近，您可能需要监控二级发射波长，  二级波长的信号强度较弱。

在沉积过程中，真空室中存在哪些本底气体？  这些本底气体的发射波长  是多少？

如果本底气体的发射干扰了沉积材料，则建议使用气体补偿传感器。

对于特定发射光谱的原子种类，  EIES 是为有效的。分子种类产生的发射光谱不稳定或者  过宽，无法准确测量。不建议将  EIES 用于有机材料。各个具体应用的   EIES 系统配置由以上因素及其他因素确定。

功能

• 监控和控制多达 8 种材料的同时沉积过程
• 从 0.1 至 10,000 Å/s 的沉积速率
• 集成式 EIES 和 QCM 薄膜过程控制
• 12 个继电器输出和 16 个数字输入
• 用于设置与操作的基于 Windows 的软件
• 与 INFICON Sentinel^® 传感器兼容