XDS系列涡旋式干泵 真空泵 返回列表页

XDS系列涡旋式干泵具有创新的轴承护罩设计，可将真空环境与所有形式的润滑剂隔离开来，使之不仅*干燥，而且*密封。该屏蔽还能保护轴承免受任何制程蒸汽的影响。XDS系列涡旋式干泵

气囊允许处理蒸汽，将应用范围拓展到以前许多不适用滚轴泵的情况。变频器驱动装置控制着电机特性，可确保泵总是以转速运转。

应用

分析仪器
电子扫描显微镜 - SEM
射束线和高能物理
涡轮分子前级泵
超高速离心机



特点及优势

真空外壳中不需要使用润滑剂，*密封可保证*的清洁和干燥真空，防止交叉污染
无大气压到真空的轴封可使轴承*隔离，从而阻止制程攻击，轴承也能以更低温度运行，使用时间更长
无需更换润滑油，也就消除了处置被污染的润滑油所需的费用
简单的单侧滚轴设计意味着维护工作可在数分钟内完成，降低运行成本，尽可能延长正常运行时间
变换器驱动可使抽速稳定维持在 50/60Hz

深圳市万德泉科技有限公司是一家集真空技术开发、应用与贸易于一体的专业公司。产品广泛运用于真空行业、镀膜、太阳能、半导体、科学研究、电力行业、航空航天、制造等领域。作为多家的真空设备及真空仪器供应商的代理商，我们可以为客户提供的全套真空解决方案，解决客户真空应用的难题，并且使客户的成本降到低。我们代理销售的产品如下：

瑞士Inficon （英福康）膜厚控制仪及探头、石英晶振片、真空计、检漏仪、残余气体分析仪、真空阀门、真空连接件。
美国Agilent（安捷伦，原瓦里安）涡旋式干泵、分子泵、氦质谱检漏仪。
英国Edwards （爱德华）旋片泵、涡旋干式泵、分子泵、真空规管。
瑞士VAT插板阀、闸阀、蝶阀、角阀等全系列真空阀门。   
日本Hitachi Metals(原Aera）质量流量控制器。

美国MKS质量流量控制器。
美国SRS 四级质谱残余气体分析仪。

美国Keyhigh 陶瓷压电阀。

韩国ONE C TECH低温冷肼、压缩机和冷媒销售

美国Angstromsciences磁控溅射阴极、靶材、反应气体控制器。