Tousimis B系列临界点干燥仪 返回列表页

Tousimis B系列临界点干燥仪产品特点：

• 专为MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）制备而设计的台式全自动临界点干燥仪，防静电无尘室适用

• 标配不同尺寸晶圆架，每次可处理5个晶圆样品

• 标配样品室内环套装，适配不同的样品尺寸，减少LCO₂消耗，提高干燥效率

• 高效绝热冷却系统，可快速降温并在充液、吹扫时自动保温

• SOTER冷凝器用于分离乙醇和CO₂，消除静电及吹扫噪音

• 内置压力控制模块，自动控制系统压力和保持压力稳定性

• 外置0.5μm的LCO₂过滤装置，去除水、油和颗粒物

• 内置吹扫后过滤器，可过滤LCO₂内0.4μm以上杂质

• 每个操作模式均有LED显示，一目了然

• 样品室设有照明灯及观察窗，便于观察样品状态

• 带刻度的微型计量阀门控制LCO₂流量

• 微处理器控制，可全自动操作

• 操作参数可重复设定，确保结果可重复性

• 所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准

• Tousimis B系列临界点干燥仪标配附件：

• 柔性高压LCO₂进液管线，3.0 m（无尘室）

• 防静电排空管线

• 外置SOTER冷凝器（分离乙醇和CO2，消除静电及吹扫噪音）

• 样品室内环（仅适用于915B与815B）可适配不同直径晶圆

• HF相容晶圆架（仅适用于915B与815B）与10mm方晶架，每个支架多可放置5片晶圆样品

• 备用样品室密封环（3），样品室灯泡（2），保险丝（2）

• 安装工具组

• 用户说明书及数据表

• 2年质保及终生免费技术支持