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250/1600型复合质谱分子泵-柱后衍生装置

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品       牌

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所  在  地上海市

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更新时间:2019-02-10 21:08:51浏览次数:3431次

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产地 国产 加工定制
250/1600型复合质谱分子泵光学玻璃镀膜工业;薄膜工艺;真空冶金;照明工业排气

250/1600型复合质谱分子泵技术参数表

250/1600型复合质谱分子泵技术参数表

型号

   250/1600

抽气速率(l/s)

   1600L/S

压缩比N­­­2

   >10­­­9

压缩比H­­­2

   >8×104

极限压强(Pa)

   <2×10-8 

   <1×10-7

高真空法兰

   LF250

   CF250

排气口法兰

   KF50

启动加速时(min)

   <7min

电机转速(n/min)

   24000n/min

小不平衡(mg)

   15mg

建议采用前级泵

   机械泵15L/S

充油量(ml)

   /

安装方式

   垂直±5°

冷却方式

   水冷或风冷

冷却水温度

   <20℃

环境使用温度(℃)

   风冷<32℃  水冷<40℃

泵体烘烤温度(℃)

   <100℃

泵重量(kg)

   40kg

外形尺寸(mm)

   Φ340×427

型号

   250/1600

抽气速率(l/s)

   1600L/S

压缩比N­­­2

   >10­­­9

压缩比H­­­2

   >8×104

极限压强(Pa)

   <2×10-8 

   <1×10-7

高真空法兰

   LF250

   CF250

排气口法兰

   KF50

启动加速时(min)

   <7min

电机转速(n/min)

   24000n/min

小不平衡(mg)

   15mg

建议采用前级泵

   机械泵15L/S

充油量(ml)

   /

安装方式

   垂直±5°

冷却方式

   水冷或风冷

冷却水温度

   <20℃

环境使用温度(℃)

   风冷<32℃  水冷<40℃

泵体烘烤温度(℃)

   <100℃

泵重量(kg)

   40kg

外形尺寸(mm)

   Φ340×427

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