当前位置：安徽贝意克设备技术有限公司>>Plasma辅助法石墨烯制备设备>> 大口径动态plasma辅助法卷对卷式石墨烯制备设备
1.加热系统
| 温度 | 1200℃ |
| 使用温度 | ≤1100℃ |
| 炉管尺寸 | Φ150mm（炉管直径可根据实际需要定制。） |
| 炉膛材料 | 氧化铝、高温纤维制品 |
| 热电偶类型 | K型热电偶 |
| 控温精度 | ±1℃ |
| 控温方式 | 30段可编程控温，PID参数自整定，操作界面为7”工控电脑，内置PLC控制程序。 |
| 加热长度 | 200+200+200mm |
| 加热原件 | 电阻丝 |
| 供电电源 | 单相，220V，50Hz |
2、PE系统
| 功率输出范围 | 0W~1000W |
| 反射功率 | 200W |
| 射频输出接口 | 50 Ω, N-type, female |
| 功率稳定度 | ≤5W |
| 谐波分量 | ≤-50dbc |
| 供电电压 | 单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ |
| 整机效率 | >=70% |
| 功率因素 | >=90% |
| 冷却方式 | 强制风冷 |
| 连接头类型 | 双卡套不锈钢接头 |
| 标准量程（N2) | 200sccm，500sccm、1000sccm（可根据用户要求定制） |
| 准确度 | ±1.5%F.S |
| 线性 | ±1%F.S |
| 重复精度 | ±0.2%F.S |
| 响应时间 | 气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec |
| 工作压差范围 | 0.1～0.5 MPa |
| 压力 | 3MPa |
| 接口 | Φ6,1/4'' |
| 显示 | 4位数字显示 |
| 工作环境温度 | 5~45高纯气体 |
| 压力真空表 | －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
| 截止阀 | Φ6 |
| 内外双抛不锈钢管 | Φ6 |
4、低真空机组
| 空气相对湿度 | ≤85% |
| 工作环境 | 5℃～40℃ |
| 工作电电压 | 380V |
| 抽气速率 | 32m³/h |
| 极限真空 | 5X10-1Pa（空载冷态） |
| 工作压力范围 | 1.01325X105～1.33X10-2Pa |
| 进气口口径 | KF40 |
| 排气口口径 | KF40 |
| 连接方式 | 采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连 |
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