六氟化硫（SF6）气体回收充气装置真空泵

操作顺序及方法装置自身抽真空a) 首先确认装置全系统无压力。若有压力，需开启相关阀门将压力放空至0表压。随后用软管将装置进口和出口连接起来，依次开V2、V3、V4、V7、V8、V9、V71（V71置于右侧板门

内）。b) 观察进气口压力表M1，确定进气口压力表M1显示不大于0表压。若进气口压力表M1显示大于0表压，应先排空系统内的压力使进气口压力表M1显示不大于0表压。c) 启动真空泵电源，打开V1，对装置自身抽真空。d) 开真空计电源，观察真空度。e) 当真空计VM显示达到极限真空后，依次关真空计电源、V71、V9、V8、V7、V4、V3、V2、V1，关闭真空泵电源，抽真空结束。对开关设备抽真空a) 用软管将开关设备与装置进口端连接起来。b) 开V2和开关设备的阀门。c) 确定进气口压力表M1显示不大于0表压后，启动真空泵电源，开启V1，对开关设备抽真空。d) 开真空计电源，观察真空度。当真空计VM显示达到所要求值后，依次关真空计电源，关设备阀门、V2、V1、和真空泵电源，抽真空结束。回收储存a) 启动制冷机组，开V7和V9，使液化容器和储存容器内压力（由压力表M4和M5指示）低于～,关V7和V9。b) 将软管与装置进口端连接起来。c) 开V2，确定进气口压力表M1在0表压以下后，启动真空泵电源，开V1对软管抽真空。d) 开真空计电源，当真空机VM显示达到极限值时，可以认为软管内空气已抽净，依次关真空计电源、V1、V2和真空泵电源。e) 把软管与开关设备连接，依次开启V2、V5、V8、V9、压缩机电源，调节减压阀V61（出厂已整定，一般不需要调节）使压缩机进气口压力表M2显示小于,对容器内的SF6气体进行回

收，同时进行净化和储存。f) 当压缩机进气口压力表M2低于或达到所要求回收终压时，依次关开设备阀门、V2、V5、V8、V9、压缩机电源、制冷机组电源，回收结束。六氟化硫（SF6）气体回收充气装置真空泵利用储存容器内部压力充气a) 将软管与装置出口端连接起来。根据不同用途，必要时可在装置出口端加装减压器。b) 对软管抽真空（开V3、真空泵和V1，方法同上。结束时注意关闭V3、V1、真空泵、真空计、把软管与开关设备连接）。c) 开V9，使SF6液化容器内可能存有的SF6液体流入SF6液态储存容器，再开开关设备阀门，慢慢打开V4，向SF6开关充气。d) 若充气后储存容器内的SF6气体压力下降与被充开关压力趋于仍有液体存在时，可打开SF6气化电加热器，是液态SF6充分气化，以提高储存容器内SF6气体压力。e) 当开关设备内达到所需压力值时，应先关闭气化电加热器电源，在关闭V9、V4、开关设备阀门，开关设备阀门，充气结束。利用压缩机充气a) 当储存容器（包括SF6储存容器和SF6液化容器）内压力低于开关设备所需的工作压力，且液位计已看不到液位，而开关仍需少量SF6气体时，才能用此操作。b) 连接软管至装置出口端。并对软管抽真空。c) 开启开关设备阀门、V8、V4，然后再开V6和压缩机电源，对开关设备充气。d) 当开关设备内达到所需压力值时，关V6和压缩机电源、V8、V4、开关设备阀门充气结束。对钢瓶充灌SF6液体准备工作：a) 用软管将钢瓶与装置出口端连接起来，并对软管抽真空。b) 根据需要可回收并抽净钢瓶内残余的SF6气体至负压，必要时，可对钢瓶抽真空。方法：在SF6液态储存容器液位已达极*充灌钢瓶a) 开V7、制冷机组电源，在制冷机组作用下，使SF6液化容器内的SF6不断增加已达到一定的液位，关闭V7，六氟化硫（SF6）气体回收充气装置真空泵并使SF6温度TM继续降至-10～0℃左右。b) 同时打开SF6液态储存容器气化电加热器，使SF6液态储存容器内的SF6压力上升至左右。c) 开钢瓶阀门V4，开V7加压，向钢瓶充灌SF6液体，一般可充45kg。d) 结束时，关V7、钢瓶阀门、V4、气化电加热器，开V3、V5、V8,用压缩机将软管内SF6液体回收到液化容器内后，关闭所有阀门，停机。 SF6气体的循环干燥净化处理a) 启动制冷机组，开V7和V9,使液化容器和储存容器内压力（由压力表M4和M5指示）低于～,关V7和V9。b) 开V8、V9，开压缩机电源，开V6，进行循环干燥净化处理。c) 循环干燥净化处理一段时间（约半小时）后，关V6、压缩机电源、V8、V9，和制冷机组电源，循环干燥净化处理结束。分子筛再生a) 开V71和V3，先将干燥过滤器内的SF6气体放净。b) 确定进气口压力表M1在0表压以下后，关V3，启动真空泵电源，开V1和真空泵电源，开V1和真空计电源，对干燥过滤器抽真空。c) 开干燥过滤器电加热电源，持续约4小时。关闭干燥过滤器电加热电源，继续抽真空直到干燥过滤器冷却到室温。d) 关真空计电源、V71，最后关V1和真空泵电源。（四）  注意事项1. 当环境温度低于5℃时，应对真空泵、SF6压缩机进行预热，提高润滑油温度后，才能启动。2. 电源线中的接地线必须可靠接地。3. 不操作分子筛再生时，禁止启动干燥过滤器电加热器。4. 当M1表指示被抽容器压力大于0表压，禁止启动真空泵、真空计。5. 真空泵、压缩机、制冷机组不得频繁启动。6. 不做SF6气化加压时，禁止启动气化加热器。7. 回收、充气或灌钢瓶操作前先对连接胶管抽真空。8. 操作加热器时，应注意储存容器温度不宜超过+30℃。9. 操作制冷机组时，应注意液化容器温度不宜低于-30℃。10. 做其他实验时，应断开设备电源和连接软管，以免损坏设备。