六氟化硫GIS真空泵

技术指标 三、六氟化硫包装与储存 

1包装：40L钢制无缝气瓶，可以分装，净重50Kg， 2：储存： 

a)储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源，库温不宜超过50℃。应与易（可）燃物、氧化剂分开存放，切忌混储。 

b)储区应备有泄漏应急处理设备。密闭操作，局部排风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴过滤式防毒面具（半面罩）。远离易燃、可燃物。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂接触。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备泄漏

应急处理设备。 

c)瓶装气体产品为高压充装气体，使用时应经减压降压后方可使用。包装的气瓶上均有使用的年限，凡到期的气瓶必须送往有部门进行安全检验，方能继续使用。 

d)每瓶气体在使用到尾气时，应保留瓶内余压在0.5MPa，六氟化硫GIS真空泵最小不得低于0.25MPa余压，应将瓶阀关闭，以保证气体质量和使用安全。瓶装气体产品在运输储存、使用时都应分类堆放，严禁可燃气体与助燃气体堆放在一起，不准靠近明火和热源，应做到勿近火、勿沾油腊、勿爆晒、勿重抛、勿撞击，六氟化硫GIS真空泵严禁在气瓶身上进行引弧或电弧，严禁野蛮装卸。 

四、六氟化硫应用 

l用作六氟化硫断路器、互导传感器、六氟化硫避雷针的灭弧气体 l用作镁铝合金压铸的保护气体 

l电子级高纯六氟化硫作为一种理想的电子蚀刻气体，广泛应用于微电子技术领域