gis真空泵抽真空装置

工作原理 

罗茨泵的工作原理如图一所示，工作时，被抽气体由进气口进入转子与泵体之间，这时一个转子和泵体把气体与进气口隔开，被隔开的气体(如图中影线部分所示在转子连续不断的旋转过程中，被送到排气口。在图(a中，V0空间是处在封闭状态的，因此，没有压缩和膨胀，但当转子的峰部转到排气口边缘 

时，由于V0部分的压力较之排气口处的压力低，gis真空泵抽真空装置为了使相连体积内压力均匀，气体就会从排气口处扩散到V0区域，其扩散方向与转子旋转方向相反。当转子再转动时，把V0处的气体压缩到排气口将其排出。这时转子的另一面与进气口相连部分则吸入气体，当转子不断地旋转时，重复上述抽气过程不断地排出流进来

的气体。这种工作过程相当于转子空间由某一最小值增加到最大值，gis真空泵抽真空装置然后再由最大值减小到最小值。这就是罗茨真空泵的容积作用原理。 

罗茨泵在入口压力很低情况小工作时，由于转子转速很高(1000r/min--3000r/min，转子表面的线速度接近于分子的热运动速度，这时碰撞在转子上的气体分子被转子携带到压力较高的排气口，再被排除。这就是罗茨真空泵的

产品特点： 

1. 转子与泵腔、转子与转子之间有一定的间隙，互不接触，不需要用油润滑。 2. 转子具有良好的几何对称性，可以提高转速，从而能够制造出结构紧凑的大抽速泵来。 

3. 泵工作时振动小，容积大，容积利用系数λnp=0.5左右。 

4. 在泵腔内并不发生像机械真空泵那样的压缩现象，因此它不需要排气阀。也

正因如此，可抽除可凝性蒸汽。 

5. 启动快，能够在短时间内达到极限真空。功率小，运转维护费用低。 6. 在很宽的压力范围内(1x103Pa~1Pa有很大的抽速，能迅速排出突然放出的气体，弥补了扩散泵和油封机械泵在(1x103Pa~1Pa时抽速都很小的缺陷。因此，做增压泵用。罗茨泵的缺点是泵的转子制造较难，抽除氢气 

的效果不如油增压泵高。