半导体行业的等离子表面处理设备
1、产品规格 |
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国华GH-13MM系列等离子体表面清洗系统标准配置表 |
机台名称 | 等离子体表面清洗系统 |
机台型号 | GH-13MM |
机台用途 | 5种气体通入，不同组合用于不同工艺制造，可用于高频板PTFE类、软硬结合板、多层软板等除胶渣等制造工艺，柔性板化金前后清洗、打线邦定前清洗等处理，SMT前清洗等 |
技术参数 | 备注 |
1 | 机台整机规格 | 2000（W）*1300（D）*1960（H） | |
2 | 真空室规格 | 进口铝 1030（W）*910（D)*930（H） | |
3 | 电极板规格 | 进口铝900(W)*600（D) | |
4 | 单层有效处理区尺寸 | 814（W)*560(D) | |
5 | 真空电极结构 | 水平电极板13层, 处理12层工件 | |
6 | 真空泵系统 | 汉中泵组 | |
7 | PLC自动控制系统硬件 | OMRON/SIEMENS-PLC及扩展模块(D/A转换、A/D转换、温度控制） | 日本欧姆龙/西门子 |
8 | 人机工控系统 | 触摸屏式全中文界面 | |
9 | 变频控制系统 | PID闭环控制，真空度可维持 | |
10 | 机台冷却系统 | 采用内部独立中通冰水循环冷却系统 | |
11 | 温度控制系统 | 日本欧姆龙OMRON温度传感模块，PID闭环控制，温度可控 | |
12 | 冰水机 | 5.0P双泵 | |
13 | 真空测定系统 | 皮拉尼电阻式真空计 | 日本爱发科 |
14 | 真空供气系统 | Ф6品牌软管+不锈钢锁套管路 | 进口优质不锈钢 |
15 | 真空排气系统 | 全不锈钢管路+波纹管 | 进口优质不锈钢 |
16 | 破真空系统 | 倒计时自动开合启动 | |
17 | 气体控制系统 | 电磁阀控制 | 日本CKD |
18 | 气体计量系统 | 3路精确质量流量控制计：MFC | SevenStar |
19 | 等离子发生器 | 额定功率：0-20KW，全自动匹配（国华自主研发） | |
20 | 其他组件 | 国内外品牌元器件 | |
21 | 机台总重 | 约2500kg | |
22 | 额定功率 | 额定功率 35KW | |
23 | 机台供电 | AC-380V-50Hz，三相五线 | |
24 | 腔体材质 | 进口铝 | |
25 | 电极板数量 | 13层处理区12层 | |
26 | 单次处理时间 | 10-60分钟不等（根据产品特征，时间设定不同） | |
27 | 工作真空度 | 0.15～0.3Torr （可根据要求设定，可恒定真空度） | |
28 | 真空泵极限压力 | 5pa以下 | |
29 | 抽真空时间 | 抽到工作真空≤180秒 | |
30 | 破真空时间 | ≤60秒 | |
31 | 供气方式 | 电磁阀式 | |
32 | 气体入口及流量计调节范围 | 5路独立MFC，N2和CF4，0-1000sccm（毫升/分钟）, O2,0-3000sccm（毫升/分钟） | |
33 | 温度控制调节范围 | 5匹速冷，30-85℃可调 | |
34 | 操作方式 | 人工取放工件，一键启动自动控制 | |
半导体行业的等离子表面处理设备
我们在工业应用中发现一些橡胶塑料件在进行表面连接的时候会出现粘接困难的问题，这是因为聚丙烯、PTFE等橡胶塑料材料是没有极性的，这些材料在未经过表面处理的状态下进行的印刷、粘合、涂覆等效果非常差，甚至无法进行。有些工艺用一些化学药剂对这些橡塑表面进行处理，这样能改变材料的粘接效果，但这种方法不易掌握，化学药剂本身具有毒性，操作非常麻烦，成本也较高，而且化学药剂对橡塑材料原有的优良性能也有影响。
利用等离子技术对这些材料进行表面处理，在高速高能量的等离子体的轰击下，这些材料结构表面得以大化，同时在材料表面形成一个活性层，这样橡胶、塑料就能够进行印刷、粘合、涂覆等操作。应用等离子技术对橡塑表面处理，等离子清洗机操作简单，处理前后没有有害物质产生，处理效果好，效率高，运行成本低。
等离子清洗机的应用领域包括橡胶、复合材料、玻璃、布料、金属等，涉及各行各业，这篇文章中我们主要介绍其在橡胶、塑料领域一些行业的具体应用。
等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机，或者等离子清洗机，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子清洗机是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的"活性"组分包括:离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。
此项技术作为一种新型的材料表面改性方法，等离子表面处理设备因效果好被广泛用各领域中，下面通几个方面给大家介绍：
金属表面去油及清洗：
金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层，在进行溅射、油漆、粘合、键合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等离子表面处理设备来得到*洁净和无氧化层的表面。
使用这种等离子技术，可以根据特定的工艺需求，高效地对材料进行表面预处理。 等离子处理机的应用领域 等离子表面处理技术可以和多种不同的后续加工工艺相配合，其中典型的后续加工包括印刷、粘接、涂装。等离子技术几乎适用各种领域的工业应用，能为不同材料或者复合材料提供后续的粘接、涂装、印刷前处理，使两种不同材料有效而又可靠的结合在一起。
等离子体能量所提供的超精细清洗去除所有颗粒。塑料外壳上具有更高的表面张力，可显著改善涂层分散和粘接力，从而可以使用水性油漆。生产过程的废品率可大大降低。（等离子表面处理设备）可将等离子技术集成到现有的涂装生产线中。
电子工业中,等离子清洗处理工艺是一项能够实现成本效益和可靠工艺的关键技术，给印刷电路板印上导电涂层之前，*行等离子活化处理，（等离子表面处理设备）微细清洗和除静电处理，可以确保涂层牢固的附着，在芯片封装领域采用表面等离子清洗技术，就不再需要真空腔体。（等离子表面处理设备）先要对塑料视窗部分进行等离子处理，由于采用等离子技术，使材料的表面性能提高，因此涂层分布更加均匀，这不仅造成了无懈可击的产品外观，还大大降低了生产过程中的废品率。
等离子表面处理设备进行处理能够为我们带来哪些主要优势？技术适用于在线工艺，例如，在对连续型型材、管件进行包护、胶粘，粘结或者涂层之前进行等离子清洗。该项技术适合用于机器人，也就是说，借助机器人可用等离子射流对 表面进行扫描。通过 等离子表面处理设备 可以进行局部的表面清洗，不会接触其余表面部分，例如，在焊线（引线焊接）前对 Al, Au 和 Cu 材质的焊盘进行清洗，无需接触表面的其余部分。
昆山国华电子提供等离子技术的咨询；等离子处理系统设备、电子产品、机电设备、机械设备、线路板、工业自动化设备、电子元器件、仪器仪表的设计、研发、生产、销售、技术服务和维修服务；光电产品、光电材料、电子产品及零部件、LED产品、五金交电、金属材料、办公用品、劳保用品、非危险性化工材料及产品的销售；机电工程、土木工程；软件设计、研发；货物及技术的进出口业务。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
在电子产品中柔性电路板（FPC）被广泛使用，柔性电路板是以聚酰亚胺或聚酯薄膜为基材制成的一种具有高度可靠性的可挠性印刷电路板，具有配线密度高、重量轻、厚度薄和弯折性好的特点，FPC柔性电路板的特点是轻薄短小,因此也受到了多数智能电子产品的***选择，柔性线路板在使用过程中也很容易产生打、折、伤痕等操作，机械强度小，易龟裂。所以贴合补强材料(stiffener)的目的是为了加强FPC柔性线路板的机械强度,方便PCB表面装零件等,柔性电路板所用到的补强胶片类型多种,根据制品使用要求不同而定,有钢片、FR4、PI和铝箔等，解决FPC的柔韧度特性，提高插接部位的强度，方便产品的整体组装。FPC钢片补强平整性好，硬度强.一般用于BGA（摄像头类）类型，便于焊接. 还有的钢片需要接地性能，需要在FPC地线上开窗以及连接FPC与钢片的需为热压导电胶. 增加厚度，硬度。
