国华电子等离子清洗机放电原理
高温气体通过传导、对流和辐射把能量传给周围环境，在定常条件下，给定容积中的输入能量和损失能量相等。电子和重粒子(离子、分子和原子)间能量传递的速率与碰撞频率(单位时间内碰撞的次数)成正比。在稠密气体中，碰撞频繁，两类粒子的平均动能(即温度)很容易达到平衡，因此电子温度和气体温度大致相等,这是气压在一个大气压以上时的通常情况,一般称为热等离子体或平衡等离子体。在低气压条件下，碰撞很少，电子从电场得到的能量不容易传给重粒子，此时电子温度高于气体温度，通常称为冷等离子体或非平衡等离子体。两类等离子体各有特点和用途(见等离子体的工业应用)。气体放电分为直流放电和交流放电。
电子相对于离子具有较强的可流动性，使其在可测量的纳秒级范围内穿过气体间隙。当电子雪崩在气体间隙形成并产生定向移动时，离子由于运动速度慢而被滞留在后面逐渐在放电空间形成积累。空间电荷的产生终使放电空间的电场产生畸变，从而使电极间空气间隙的电场强度等于或超过周围气体的击穿场强，使得在较短的时间内气体电离急剧增加，终导致单个丝状放电的发生。
在1个标准大气压条件下，由于粒子间的碰撞频率较高，一个正在变大的电子雪崩在很短的距离就可产生相当规模的电荷密度。电子和离子的飘移速度不同造成电荷分离，从而使局部电场在原电场基础上得到叠加，场强变大。在流柱头部的高场强区，碰撞电离导致电离区域的快速增长，从而形成明亮的等离子体通道。但是在介质阻挡放电过程中，由于介质层的存在限制了电流的自由增长，因此也阻止了金属电极间火花或弧光放电的产生。
二、介质阻挡*放电
单个丝状放电是在放电气体间隙的某个位置发生，与此同时在其他位置也会发生丝状放电。正是介质的绝缘性质，使这种丝状放电能独立发生在许多放电空间中。当丝状放电的两端电压低于击穿电压时，电流就会截止。在同一位置上只有再次达到击穿电压时，才能发生再击穿和在原地方发生第二次丝状放电。每个微丝状放电的直径只有几十个到几百个纳米，同时这些细丝的根部与介质层连在一起并在其表面产生凹凸点。由于介质层表面凹凸点的存在，增加了该处的局部电场强度而使放电更加容易发生，这就是通常所说的介质阻挡*放电。
三、流光放电
一个微放电过程实际就是一个流光放电发生与消失的过程。所谓流光放电就是特指放电空间某一局部区域被高度电离并迅速传播的一种放电现象。在DBD中它通常分为放电击穿、流光发展及放电消失三个阶段。图2和图3清晰地展现一个流光放电的演变过程。
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文章由昆山国华电子科技有限公司提供，编辑人：蒋菲菲
