昆山国华电子科技有限公司
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昆山国华真空等离子清洗机发展历程:
科技的不断发展,各种技术问题的不断提出,新材料的不断涌现,越来越多的科研机构已认识到等离子技术的重要性,并投入大量资金进行技术攻关,等离子技术在其中发挥了非常大的作用。我们深信等离子技术应用范围会越来越广;技术的成熟,成本的降低,其应用也就更加普及。
昆山国华真空等离子清洗机发展历程
真空等离子清洗机由真空发生系统、电气控制系统、等离子发生器、真空腔休、机械等几个部分组成,可以根据客户的特殊要求定制符合客户需要的真空系统,真空室。容易采用数控技术,自动化程度高;具有高精度的控制装置,时间控制的精度很高;正确的等离子体清洗不会在表面产生损伤层,表面质量得到保证;由于是在真空中进行,*,保证清洗表面不被二次污染。
真空等离子清洗机是气体分子在真空、放电等特殊场合下产生的物质,等离子清洗/刻蚀产生等离子体的装置是在密封容器中设置。广泛应用于表面去油及清洗等离子刻蚀,聚四氟(PTFE)及聚四氟混合物的刻蚀、塑料、玻璃、陶瓷的表面活化和清洗、等离子涂镀聚合等工序,因此又应用于汽车电子领域、电子领域、PCB制成行业等高精密度领域。
真空等离子清洗机通过两个电极形成电磁场,用真空泵实现一定的真空度,随着气体越来越稀薄,分子间距及分子或郭的自由运动距离也越来越长,受磁场作用,发生碰撞而形成等离子体,同时会发生辉光,等离子体在电磁场内空间运动,并轰击被处理物体表面,达到去除表面油污以及表面氧化物,灰化表面有机物,以及其它化学物质,从而达到表面处理、清洗和刻蚀效果,经过等离子处理工艺可以实现有选择的表面改性。
真空等离子清洗机运行过程如下:
1 )被清洗的工件送入真空室并加以固定, 启动运行装置,开始排气,使真空室内的真空程度达到10 Pa左右的标准真空度。一般排气时间大约需要 2 min。
2 )向真空室引入等离子清洗用的气体,并使其压力保持在100 Pa。 根据清洗材质的不同,可分别选用氧气、氢 气、氩气或氮气等气体。
3 )在真空室内的电极与接地装置之间施加 高频电压,使气体被击穿,并通过辉光放电而发 生离子化和产生等离子体。让在真空室产生的等离子体*笼罩住被处理工件,开始清洗作业。一 般清洗处理持续几十秒到几分钟。
4 )清洗完毕后切断高频电压,并将气体及气化的污垢排出,同时向真空室内鼓入空气,并使气压升至一个大气压。
昆山国华真空等离子清洗机发展历程
等离子清洗机的作用针对不同的产品有不同的作用,不过也无外乎以下几种:
等离子表面活化/蚀刻;等离子表面灰化/改性;提高材料表面的浸润能力;增强材料表面的邦定性;去除材料表面的有机污染物、油脂或油污。
等离子清洗机的作用原理:
(A)对材料表面的刻蚀作用
物理作用 等离子体中的大量离子、激収态分子、自由基等多种活性粒子,作用到固体样品表面,清除了表面原有的污染物和杂质,而且会产生刻蚀作用,将样品表面变粗糙,形成许多微细坑洼,增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。
(B)激活键能,交联作用
等离子体中的粒子能量在 0~20eV,而聚合物中大部分的键能在 0~10eV,因此等离子体作用到固体表面后,可以将固体表面的原有的化学键产生断裂,等离子体中的自由基中的这些键形成网状的交联结构,大大地激活了表面活性。
(C)形成新的官能团
化学作用如果放电气体中引入反应性气体,那么在活化的材料表面会发生复杂的化学反应,引入新的官能团,如烃基、氨基、羧基等,这些官能团都是活性基团,能明显提高材料表面活性
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