Alicat的新版质量流量计和质量流量控制器拥有的流量精度新水平。通过改进的温度和压力补偿,我们的流量测量更能抵抗温度和压力变化带来的影响。电路板全部重新设计,增加了信噪比,并大大提高了原始传感器数据采样的分辨率。这些改进使得本就非常出色的Alicat质量流量仪表成为市场上的差压流量测量系统之一。
Alicat设备现在比以往任何时候都更加
Alicat质量流量仪表的校准精度提升至±0.6%Rd或±0.1%F.S.,两者以较大者为准(高精度校准精度提升至±0.5%Rd或±0.1%F.S.)
而我们老版本的流量仪表,标准校准精度为±(0.8%Rd +0.2%F.S.),高精度校准精度为±(0.8%Rd +0.2%F.S.)。
量程比和分辨率规格从200:1和4位总数字提高到10000:1和5位总数字,并进行了补偿改进,使流量分辨率规格提高了10倍。
图一 Alicat 新老版本精度对比
用一个Alicat流量设备替换多个不同量程热式MFC
我们的可用量程范围明显高于竞争对手;由于量程范围限制,在其他热式流量计/控制器的系统中可能需要两台MFC,但Alicat只用一台就可以覆盖全量程。例如,如果您需要控制100 SLPM到100 SCCM之间的氧气流量,一个Alicat MFC可以在整个范围内提供的、可重复的控制。大多数基于热式的MFC则需要两个或多个MFC才能完成相同的任务。我们能为客户实现:
精度的提高意味着工艺的改进:
分辨率的提高意味着更精细的控制:
精度计算示例:
要使用新规范计算Alicat仪表的精度,您需要了解流量仪表的量程及其读数。
假设一个标准校准的M系列质量流量计的全量程为10 SLPM,读数为5 SLPM。对于标准精度规范,16.7%的满量程值是一个转折点。当读数低于满量程的16.7%时,用满量程的0.1%来计算误差更大一些。当读数高于满量程的16.7%时,用读数值的0.6%来计算误差更大一些。由于5SLPM的流量高于满量程的16.7%,故精度计算基于流量的实际读数:
精度= ±0.6%的读数值 = (0.005)(5 SLPM) = ±0.03 SLPM
如果流量读书低于满量程的16.7%,如0.5SLPM,此时精度计算是基于满量程值:
精度= ±0.1% 的满量程值= (0.01)(10 SLPM) = ±0.1 SLPM
对于高精度规范,转折点是满量程的20%。采用前一个例子来计算,结果如下:
读数为5SLPM时,精度= ±0.5% 的读数值= (0.005)(5 SLPM) = ±0.025 SLPM
读数为0.5SLPM时,精度= ±0.1% 的满量程值= (0.01)(10 SLPM) = ±0.1 SLPM
图二 新版本较老版本精度提升比例
实用术语:
满量程:设备大的校准读数。对于双向流设备,请参阅相关规范表以了解完整的规格说明。
分辨率: 读取/控制变量的小位数。
% Rd: 取决于实际读数值的精度指标,与满量程无关。用该数值乘以实际读数值就能得到在某一特定读数时的精度。
% F.S.: 取决于满量程值的精度指标,与实际读数值无关。用该数值乘以设备校准的满量程值就能得到特定设备的精度。注意:双向流设备可能具有不同的满量程值,详细信息请参阅各个规格表。
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