孚光精仪(中国)有限公司
高分辨率晶圆厚度测试仪能够高精度测量硅晶圆厚度和硅晶圆厚度变化,分辨率高达10nm,可满足不同的晶圆厚度范围
型号 | 晶圆直径[mm] |
MX 102-6 | 100, 125, 150 |
MX 102-8 | 150, 200 |
MX 1012 | 200, 300 |
MX 1018 | 300, 450 |
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