孚光精仪(中国)有限公司
纳米线性平移台SLLA42是长行程范围的线性纳米位移台,基于循滑块设计,小滑块结合不同长度的导轨,使其可以进行精确远程纳米平移定位或在有限空间内大行程范围的纳米位移定位
型号 | SLL12 | SLLA42 | SLLV42 |
分辨率 | <1nm | <1nm | <1nm |
负载 | 30N(3kg) | 30N(3kg) | 30N(3kg) |
适合真空度 | 10-11 mbar | 10-11 mbar | 10-11 mbar |
行程范围 | 70~475mm | 70~1480mm | 70~1480mm |
步进1 | 1-1500nm | 1-1500nm | 1-1500nm |
扫描范围 | >1.5um | >3um | >3um |
扫描分辨率 | <1nm | <1nm | <1nm |
速度 | >20mm/s | >20mm/s | >20mm/s |
频率 | 18.5KHz | 18.5KHz | 18.5KHz |
阻尼力Fb | >3N | >5N | >5N |
正向力Fn | 30N | 30N | 30N |
升力Fl | >1N | >1.5N | >1.5N |
尺寸 | 33.8 x 27 x 13 mm3 | 54 x 60 x 16 mm3 | 54.8 x 60 x 16 mm3 |
重量 | 44g | 148g | 148g |
钢轨重 | 59 g / 100 mm | 286 g / 100 mm | 286 g / 100 mm |
pitch俯仰力矩Mp | 6Nm | 25Nm | 25Nm |
yaw偏航力矩My | 6Nm | 25Nm | 25Nm |
roll扭转力矩Mr | 11Nm | 90Nm | 90Nm |
Closed-Loop-S 传感器分辨率 | 1nm | 1nm | 1nm |
Closed-Loop-S 重复精度 | ± 70 ~450 nm 2 | ± 70 ~450 nm 2 | ± 70 ~450 nm 2 |
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