质朋仪器贸易（上海）有限公司
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阅读：564发布时间：2021-10-14
导读：介绍了台阶仪的工作原理和常用领域后，本文主要介绍日本小坂研究所生产的Kosaka台阶仪ET200A，包括其整体结构，传感器设计原理与主要优势，同时和业界已有的台阶仪进行对比。
我们在篇介绍台阶仪的文章中讲到：“台阶仪的工作原理是：测针以十分微小的力轻轻划过样品表面，样品表面微米甚至纳米级别的高低起伏通过与测针连接的传感器得到千百万倍的放大，然后被转换成电子信号，输入到电脑软件中，最终以数字和图形的数据形式展现出来，供技术人员查看。"
这一原理的实现，是通过台阶仪本体、控制器和PC端协作完成的。下图是Kosaka台阶仪ET200A型号，左侧上方为PC,左侧下方为控制器，右侧为台阶仪本体，三者之间彼此有相对应的数据线连接。
台阶仪的测针划过样品表面后，样品表面微细形状的变化会通过连接在探针上方的差动变压传感器进行放大。这些变化的电子信号会通过数据线从台阶仪本体的传感器传输到控制器，再从控制器传输到PC端的测量软件中，最终以图形和数据的形式展现出来。
台阶仪测量结果精度如何，跟其传感器的工作原理息息相关。目前业界的台阶仪全都是接触式测量，其工作原理大概有两种：直动式运动轨迹与杠杆式运动轨迹，两种不同的运动轨迹，也决定了不同的精度和重现性。这一点，我们在下一篇有关台阶仪的文章中展开讲解。
日本进口的KOSAKA 台阶仪，有ET200A，ET4000系列和ET10000，分别对应：学术和科研单位的研发测量（例如工程系、材料系和机电系的材料测量需求），面板、光伏、半导体等产业工厂自动化测量和超大型工厂全自动化测量的需求。
关键词：台阶仪 | 膜厚仪 | 薄膜测厚仪 | 段差分析仪
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