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Radiation 全光谱椭偏仪

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产品型号SE-RD-STD系列

品       牌

厂商性质经销商

所  在  地

联系方式:吕经理查看联系方式

更新时间:2024-03-04 17:15:09浏览次数:53次

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经营模式:经销商

商铺产品:45条

所在地区:上海上海市

联系人:吕经理 (经理)

产品简介

Radiation 全光谱椭偏仪

详细介绍

规格

技术指标

衬底类型

透明或半透明衬底

光源

氙灯

光源寿命

>8760H

光谱范围

300-1000nm

入射角

70度(40-90度 每5度可调)

光斑直径

100x120μm(Min80x100um)

测量时间(不对焦)

<2S(单层模型),<6s(多层模型)

膜厚测量范围(单层膜)

1nm-15μm

对焦

自动讯号对焦

膜厚测量精度

<0.5nm(基于标片)

折射率测量精度

<0.005(基于标片)

厚度重复性精度:

<0.5A1 sigma 标准差,10times)(基于标准片)

折射率重复性精度:

<0.00051 sigma标准差,10times)(基于标准片)

可测试膜层数量

2

标片数量

2

关键词:标准

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