数字式真空计-四级承修设备-电子/半导体检测仪器 返回列表页

数字式真空计-四级承修设备

产品特征：

当气压在10mbar以上时，可独立测量各种气体，不必做校正（包括混合气体）

对于气体的压力检测具有较高的精确度和重复性

信号响应时间较短（≤30ms)

原理介绍：

按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类，分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。

利用力学性能的真空计典型的有波尔登规(Bourdon)和薄膜电容规;利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼(Pirani)电阻规和热电偶规;利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。

波尔登规(Bourdon)

细的铜管受气体压力不同会有舒展现象，会带动杠杆和齿轮旋转，使得指针指示在不同刻度上，即可读出相应的气压值。

这种规的测量范围一般在100Pa至1atm。

技术参数：

数字式真空计-四级承修设备量程范围：

在较高压力时(10~1Pa)利用压力差U型管压力计，麦克劳真空计，薄膜计，弹簧管压力计等。

在10~10Pa的中间压力范围，利用气体性质(热传导，粘性)的变化而做成的皮氏计、粘性真空计。

在低压力时，使用将气体分子电离而测量的电离真空计。