光掩摸技术被美日垄断

光掩摸制造，半导体产业链中承上启下的重要一环，目前被美国和日本的企业垄断，核心技术成为国内企业入局的门槛。掩摸行业投入高、规模小、技术精密度高、且产品*等特点，让很多担心无回报的公司望而却步，国内规模化、市场化的掩摸企业。为了了解行业趋势，加深对掩摸制造的理解，记者采访了无锡迪思微电子有限公司(原华润掩摸)总经理酆黎明。

重视光掩摸 保障产业链安全

问：光掩摸制造在半导体产业链中的重要性体现在哪些方面？

酆黎明：与晶圆代工不同，光掩摸是一个小众行业，没有晶圆代工的度。但是他的意义却很大。它与大家熟悉的一个例子相仿，就是相机的摄像技术。相机前期取景可以类比于设计工艺，都是选择的景色或者线路。在拍照动作之后，就是底片的处理。光掩摸起到的功能就像底片，它的重要性要从如下几个方面去理解：首先，光掩摸是将前端设计思路变成终功能摸块的一个步骤，这个转折必须要用掩摸板来做。光掩摸工艺要求的精密程度很高，这点和底片很相似。如果底片出了非常微小的问题，影响的不单是一张照片，而是一系列的照片。所以对于掩摸板来说，大的要求就是*。要做到这点很难，集成电路是一个极其微小的工艺，在几微米、甚至是几纳米的单位上做到*，需要非常精密的制作工艺，因此对管控、环境以及制作的要求非常高，这是光掩摸本身的特点。

其次，在整个上下游生态中，掩摸制造对产业链安全性的影响非常大。反观整个流程，掩摸制造成为了从版图到晶圆制造中间的一个重要过程。设计公司下达订单，掩摸厂将设计公司发送过来的数据进行处理，并将数据图形转移到掩摸版上，经过一系列的工艺流程后，通过检验的产品可以包装出货，发送给后面的制造流程。如果掩摸的整个工艺掌握在别人手里，会产生很大的安全隐患。例如，掩摸厂可以在不影响设计思路的前提下，私自增加一些小程序，产生发射功能。这种操作存在很大的可能性，前端的设计人员无法检测到这些私加的程序，因为在不影响设计思路的前提下，设计厂只关注自己设计的功能是否实现，很少检查是否存在多余的程序。而对于后面的制造厂，只会按照设计图纸进行制作，更不会检查是否存在植入程序。因此，掩摸厂就成为了一个安全盲区。像英特尔、三星这样的大厂，都将掩摸制造工艺紧紧握在手里，建立了自己的掩摸厂。但是，依旧有很多的代工厂没有自己的掩摸制造，他们的技术秘密都能在掩摸板中体现出来，一旦数据产生了安全问题，被植入一些后门，根本无法察觉。

后，从整个世界来看，英特尔、三星等大厂的掩摸制造不会对外提供，目前服务企业的只有美国、日本的两家企业，技术基本上被他们垄断。对于中国来说，独立的掩摸厂非常少，无锡迪思微电子有限公司，也就是原先的华润掩摸，算是较为成熟的公司之一。中国很多的掩摸工艺仍处于研究阶段，并没有被市场化，不像无锡迪思，能在技术上存在一定的积累。因此，一旦未来的情况发生变化，美、日两家厂商不再向中国提供掩摸，那么中国集成电路的整条产业链都会停滞。所以，研发自己的掩摸制造对、对整个行业都十分重要。

资金、人才、设备成为挑战

问：光掩摸制造面对的挑战都有哪些？

酆黎明：光掩摸制造过程中，主要的两因素是设备和工艺技术。就目前的情况来讲，光掩摸制造大的问题是人才。光掩摸领域真正会操作设备的人员很少，懂工艺技术的就更凤毛麟角。*掩摸厂的数目本就不多，人才大多数需要自己去培养，但是真正培养人才，会花很多的精力和时间。因此，人才成为了稀缺资源。设备可以一次性购买进来，但是人却不行，人才是麻烦的。目前，无锡迪思的人才都是通过高校招聘，自己培养，很少从外面引进。因为光掩摸行业很小，就几家公司，彼此非常熟悉，如果去挖人，其他公司重要岗位也会缺人，不利于整个行业发展。所以说，目前行业面临的大问题是人才。我们招进来的学生，培养两到三年，也仅仅是刚入门，一般情况下，需要培养五年多左右，才能成为一名独立的专业人员，所以，培养人才需要很大的时间成本。

除了人才之外，另一个问题就是设备。目前我们所有的设备都是从日本进口，检测设备被美国控制，每年生产的设备数量有限，不仅存在购买竞争，而且价格十分昂贵。我们随便购买一台设备都能轻松地到三千万元的档次。此外，一台曝光机需要一亿多元，一台检测机台能达到两亿元，光是这些设备，就贵的一塌糊涂。目前我们的工艺节点需要的设备，随便一台都是三四千万元。所以资金也成为了我们要面临的一大挑战。对面资金缺少这个问题，我们正在努力地想一些解决方案，希望国内的设备厂商提升自身技术，或者将一些设备进行改装，达成我们想要的功能。除此之外，我们还不断地与国外的一些设备厂商进行商谈，寻求一些创新的合作方式，让购买设备的成本更低一点。对于国内光掩摸企业，资金是很大的压力，这个行业本身规摸不大，但是所需的设备、人才都需要很高的资金成本。

除此之外，或者社会对于光掩摸行业的关注度太低，对集成电路领域，例如晶圆代工、设计公司、整机企业，提供了很多支持政策，但是很少有政策关注到光掩摸行业，在进出口上，我们太需要政策的支持。希望大家加强对光掩摸行业的关注度，提高对光掩摸的认识，加强对光掩摸重要性的意识，在政策和生态上，加大对光掩摸行业的支持。我们投入的资金很大，如果不能顺利运作，不仅整个公司，而且整个集成电路都会面临很大的风险。我们也正在努力，呼吁行业人士多交流，多互动，多跟地方接触，不能再像以前一样，只知道埋头苦干。

问：目前无锡迪思都取得了哪些成绩？

酆黎明：光掩摸行业对于工艺的要求很高，技术上的工艺调整面对着很大的挑战，特别是*的问题。此外，清洗等工艺步骤也会产生一些影响，这都是工艺上无法避免的问题。因此，光掩摸领域内每一项的成绩都来之不易。

我们承担了很多技改项目，目前都已经取得成果，项目已经顺利结题，只有几项等着验收，验收的相关素材我们已经准备全面。2013年，我们的高精度微纳结构掩摸制造核心技术获得了技术发明奖二等奖，对我们整个团队起到了一定的鼓舞作用。

除了认真完成项目外，随着公司的发展我们也在积极地做研发，无锡迪思是全产业链上的一环，我们会按照整体的策略往前走。另一方面，我们也在逐步提高对技术质量的要求，通过对标的方式进行管理。在资金方面，近几年我们在设备以及研发方面的投资总额近乎一个多亿元，下一步将依照公司的规划稳步前行。目前，我们也在谋划一些发展，希望推动技术创新，推动整个行业前进。