青岛佳鼎分析仪器有限公司
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SM-200具有高度的均匀性和可重复性，以及操作方便和操作舒适性
SM-200具有高度的均匀性和可重复性，以及操作方便和操作舒适性。创新的RCCT系统（圆闭室技术）有效地减少了旋转基底上的空气湍流，提高了涂层的均匀性，因为封闭室内的大气，溶剂迅速被饱和，挥发更慢，使涂层过程更均匀，显著节省了消耗的介质。
HP-200是为光刻、MEMS和类似应用中的精密热处理工艺而开发的。默认温度范围设计为高达250°C。设定温度和温度分布更精确，这意味着可以实现高涂层质量。HP系列具有高度的一致性和高精度的工艺重复性。它可用于直径达200mm，厚度为18mm的基板。
最多可编程50个节目，每个节目有24个片段
重复流程的快速启动功能
具有触摸屏面板的用户友好流程配置
过程参数：速度、加速度、时间
可选择旋转方向（CW、CCW）
RCCT系统（圆形密闭室技术）
为最多4条介质线准备的动态分配臂
基板的手动装卸
通过真空和安全联锁保护固定基板
过程完成时的声音信号
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