MUEGGE等离子元件-MW2009D
天津瑞利光电科技有限公司经销MUEGGE等离子元件。
产品详情：
MUEGGE等离子元件-MW2009D
描述：
双等离子体的组合可以用于获得二维等离子体阵列。单个源以及2个，4个和8个平行排列的等离子体可用于等离子体辅助表面处理，如表面活化，蚀刻和沉积。双等离子体是不使用磁场的直接微波等离子体源。在简化的描述中，它类似于由微波激发的反向发光管，双等离子体通常在约1000Pa至10Pa的低压下操作。由两个磁控管产生的具有2.45GHz频率的微波在两端被馈送到等离子体线中。在外部低压状态下放电点火，随着微波功率的增加，等离子体从沿着管的两端增长，并且形成轴向均匀的等离子体。
特征：
-低压微波等离子体源
-可扩展和紧凑的设计
-大面积应用
-高等离子体密度
-高效率
-低伤害
-轻松适应定制系统
材料：
-腔室：铝
-气体喷淋：铝
-等离子体源：石英，AL2O3
-冷却：水/空气合并
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