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Dycor DyMaxion 流导限制型气体分析仪

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更新时间：2023-03-11 12:03:18浏览次数：74次

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产品简介

Dycor DyMaxion 流导限制型气体分析仪 Dycor流导限制型离子源气体分析仪是专门为半导体和薄膜制造过程监测而设计的，体系压力为毫托范围。

详细介绍

Dycor DyMaxion 流导限制型气体分析仪
Dycor流导限制型离子源气体分析仪是专门为半导体和薄膜制造过程监测而设计的，体系压力为毫托范围。

Dycor DyMaxion 流导限制型气体分析仪

概述

对离子发生器的设计，可以得到增强的灵敏度和下降的背景噪声。当一个流导限制型离子源在样本压力达到10-3 torr时可以运行，不需要分析抽气的进样系统进一步减少压力。越高的样本压力下有更多的中子，有更多的样气会离子化。压力每增大一个数量级，信号强度和样本浓度成比例地变化。这是通过限制样本气体在一个（相对）小的离子室内而实现的。样本气体被限制在离子室内，该离子室的两边有两个裂缝，轰击电子通过这些裂缝进入，进而使样品气体离子化。在靠近离子室的小的出口形成的离子立即被吸至质量过滤器，几乎没有机会和中子反应。离子化效率很高，因为实际上所有的样本气体都经过小的离子化地带。从离子源到下游的质量过滤器的主要的传送机制是由离子发生器中的相对高压与下游质量过滤器中的相对低压产生的一个压力梯度。因此，离子源是由于压力的不同而引起的流导限制。

流导限制式离子源的其他特点包括：
传感器室中背景气体对分析信号的*小程度的污染
离子室外的灯丝排除本底信号
可拆卸的离子室方便清洗
两根涂钍的铱灯丝
可简便替换的灯丝
从传感器真空室进口到离子室连接简单
流导限制式离子源具备了增强的灵敏度，降低的体系压力背景噪声，和PPB 水平的检测能力。