5910UHP型水分分析仪
石英晶体微平衡水分分析仪在超高纯度（UHP）气体pptv级水分监测方面有着****的性能。操作简单的19"机架安装分析仪具有很多出色的性能特点，包括内置的零点校验系统，可以为你的半导体气体体系提供能够获得的*好的保护。工作量程能够达到1000ppbv。
|
概述
摘要
5910型水分分析仪是目前监测存在于高纯大气气体中的痕量水分污染物的*设备。5910型水分仪的优越性能是将**度，灵敏度，和响应速度****的结合到一起。
极低的噪声和的灵敏度使得该水分分析仪的检测限达到了150ppt。*小的样气接触表面使5910对变化的水分甚至比光学仪器有更好的响应，因为光学仪器的响应速度受到大很多的样气接触体积的固有限制。
5910型水分分析仪只能在19"机架/椅式安装，带配备本地显示器和键盘。内置的零点校验系统是标准配置。
需求
现今，许多半导体制造设备都要求气体中的水分浓度低于ppbv级。遗憾的是，单个数字的ppbv数值级别的水分浓度测量依然是当今已知的分析领域中*困难的挑战之一。
当监测单个数字的ppbv数值级别或者更低的水分浓度时，分析仪的响应速度的限制不是来自测量使用的技术。*重要的参数是流经样品池的样气接触表面，还包括样品池，这些表面和一个新的湿润水平达到平衡比起传感元件测量需要更长的时间。如果，在瞬时湿润情况下，分析仪不能和这个新的数值达到物理平衡，传感元件就感应不到实际的持续时间和数量。因此，一台以光速运行的传感器很容易感应不到微小的，瞬时的情况，一些需要大样品体积的光学系统对这些情况存在的反应是模糊的。
解决方案
阿美特克过程仪器5910型UHP水分分析仪达到了****基线稳定性和对水分浓度ppt级改变的灵敏度，同时能够获得*快的响应速度。稳定性和灵敏度的改进是非常仔细周全的机械设计的直接产物，使得您能*好地保护您的半导体气体体系。
5910型水分分析仪甚至对水分浓度*轻微的变化也很敏感。我们知道这是因为它的噪声水平低于50pptv。这种非凡的设计就使得它的检测限只有150pptv。
5910型水分分析仪被设计成有*小的逆流表面积以及对于任何可用的湿度分析技术来说的*小的样气体积。当这些与5910的温控箱结合时，对增加和减少的水分浓度就能达到意想不到的响应速度：在任一方向一个25 ppbv的改变达到80%响应所需的时间少于8分钟。对一台分析仪的设计更严格的测试是对水分浓度更微小变化的响应速度。5910型水分分析仪的产品资料包含了一个性能曲线，证明了5910型水分仪的对3.4ppbv级挑战的**的响应速度。
每一款5910型水分分析仪都能通过内在的零点气体系统快速而**的校验其零点基线。这种零点校验确保了分析仪有稳定的零点基线。这是至关重要的，因为所有UHP气体的目的是获得尽可能低的水分含量。其他技术不具备这个能力，不能确定分析仪显示的零点是它实际的零点或者其他更高或者更低的数值。
5910型水分分析仪实质上适合所有非腐蚀性气体，包括惰性气体（He, Ar, Ne, Xe, Kr）, O2, H2, 和N2 。转换气体只是软件菜单中的一个简单快捷的选项。
典型的应用包括质量保证的连续监测和临时的车载移动分析监测。
|
