北京壮仕科技有限公司
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PCE-22是一款可加热型的紫外臭氧清洗机，其加热温度可达150℃
PCE-22是一款可加热型的紫外臭氧清洗机，其加热温度可达150℃。此款设备可用于清洗各种基片，为制作高质量的薄膜打好基础。特别适合移除光刻胶，改善表面润湿性，清洗SEM &TEM，紫外对聚合物改性等。
紫外臭氧清洗提供了一种无酸、干燥对材料无损伤的原子级别的清洗手段，特别适合清除一些有机化合物。紫外灯主要发出两种波长的光：185nm和254nm。其中185nm的光可把空气中的氧气变为臭氧，254nm可以破坏化合物中的键（特别是碳碳键）。所以这两种波长的光组合可有效地清除有机化合物
| 设备名称 | 加热型紫外臭氧清洗机-PCE-22 （2019.11.4-科晶实验室审核） |
| 产品提示 | 1、多种配件可选提示 2、特殊设备尺寸设备 3、科晶实验室邀请提示 4、配件妥善保管提示 |
| 设备特点 | ·仅室内使用; 海拔高度5500英尺以内; ·温度范围：5-40℃; ·相对湿度80％，30.5℃，40℃线性降至50％相对湿度; ·主电源波动不超过额定电压的10％; ·污染等级2; 臭氧水平（环境）测量<45> ·去除分子级别的污染物 ·紫外光固化粘合剂 ·紫外光催化 ·氧化PDMS ·表面消毒 ·刻蚀 ·清洗MEMS 器件 ·清洗各种基片，如Si, Ge, GaAs和各种氧化物单晶基片 |
| 基本参数 | ·功率：350W ·AC 208~240V，单相 50/60Hz 更多参数请联系科晶销售部 |
| 机体结构 | 腔体&样品台：·不锈钢壳体 ·抽屉式样品台，以便放样取样，如图一。 ·样品台面积310 mm x 320 mm ·臭氧通风装置安装在腔体上 ·样品台与紫外灯的距离：20mm -40mm（可调），如图二。 ·样品台可以加热，温度可达150℃，如图三。 ·可设置20段升降温程序，控温精度为+/-1℃ ·设备运行时间：0.01 秒- 99.9小时，如图四。
图一 图二 图三 图四 排气口：·直径为80mm的排气口安装在仪器后端 ·请将橡胶管与排气口连接，将臭氧排出到实验室外 ·仪器中不包含橡胶管 紫外灯：·可发出双波长的水银灯 ·功率：55W ·发出光的波长：254 nm 和 185 nm ·使用寿命：2500 小时（可更换） ·照射区域：200 x 200 mm ·可以清洁直径为12英寸x 35毫米的晶体晶片。 |
| 外形尺寸 | ·510mm x 350mm x 400mm (W x H x D) |
| 净重 | 28kg |
| 认证 | 所有电器元件（>24V）都通过UL/MET/CSA/CE认证，若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。 |
| 质保期 | 一年保修，终身技术支持。 特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 |
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