深圳市迈昂科技有限公司
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通过椭偏参数、透射/反射等参数测量，实现各种单层到多层的各向同性/各向异性薄膜膜厚、光学常数快速表征
一、产品优势
● 专业光谱椭偏解决方案
● 超高精度、快速无损测量
● 系列配置灵活，支持功能定制设计
● 丰富的材料数据库与算法模型库
支持多功能灵活配置
系列配置灵活，可根据不同应用场景支持多功能模块定制化配置
自动变角模块
自动找焦模块
Mapping测量模块
微光斑测量模块
二、应用案例
三、系列产品
四、技术规格
型号 | SE-VM | SE-L | SE-Mapping | SE-VE |
自动化程度 | 角 | 自动变角 | 固定角+mapping | 固定角 |
应用定位 | 通用型 | 自动型 | 检测型 | 经济型 |
基本功能 | Psi/Delta、N/C/S、R/T等光谱 | Psi/Delta、N/C/S、R等光谱 | ||
分析光谱 | 380-1000nm（支持扩展至210-1650nm） | 400-800nm | ||
单次测量时间 | 0.5-5s | |||
重复性测量精度 | 0.01nm | 0.05nm | ||
光斑大小 | 大光斑2-4mm，微光斑200μm/100um | 大光斑2-4mm | ||
折射率重复性精度 | 0.0005 | 0.0001 | ||
入射角范围 | 45-90°（5°步进） | 45-90° | 65° | 65° |
入射角调节方式 | 手动变角 | 自动变角 | 固定角 | 固定角 |
找焦方式 | 手动找焦 | 自动找焦 | 手动找焦 | 手动找焦 |
Mapping行程 | 不支持 | 100*100mm(可选配) | 300*300mm(可选配) | 不支持 |
支持样件尺寸 | 至180mm | 至200mm | 至300mm | 至160mm |
● 重复性精度指标针对100nmSiO2/Si标准样件30次重复性测量；
● 有关Mapping型号命名与其行程尺寸有关，并支持尺寸定制；
● 仪器具体技术参数需与实际功能模块、配件有关，表中数据仅供参考。
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