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DHPS 系列直流溅射等离子体实验装置

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本系列实验装置是一款紧凑型等离子薄膜溅射仪，专门设计为在基底上镀上金属膜，如金，铂，铟和银等

详细介绍

本系列实验装置是一款紧凑型等离子薄膜溅射仪，专门设计为在基底上镀上金属膜，如金，铂，铟和银等。可放置样品尺寸直径为 40mm，膜厚可达 300 埃，特别适用于为 SEM 样品镀上金而作为导电极。

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