中图仪器一直以实现高精密仪器自主化为己任，决心自主研制国产白光干涉仪。凭借十多年在几何量测量领域的潜心研究，中图仪器设计制造出了Super View系列白光干涉仪国内品牌，一键测量零件的粗糙度、围观轮廓尺寸、角度、面积、体积等表面三维形貌参数一网打尽。

产品参数

产品型号：SuperView W1系列

产品名称：光学3D表面轮廓仪

影像系统：1024×1024

光学ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可选）

干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）

XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电动、手动同时具备，均为光栅闭环反馈

Z轴行程：100mm，电动

Z向扫描范围：10mm

Z向分辨率：0.1nm

可测样品反射率：0.05%-100%

水平调整：±5°手动

粗糙度RMS重复性：0.005nm

台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08% 1σ

主要特点：非接触式无损检测，一键分析、快速高效

生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司

Super View白光干涉仪采用的测量方式是非接触无损测量方式，避免了对被测物体造成划痕和磨损，尤其适用于各种柔软材料、易腐蚀材料和传统方式无法检测的表面形态测量和分析。集合了自身白光干涉三维重建技术和微纳米显微测量三维软件，以及采用了集合相移法PSI的高精度和垂直法VSI大范围两大优点的扩展型相移算法EPSI，分辨率0.1μm，重复性0.1%，比肩进口品牌，让轮廓测量价格实惠。

主要组成部件

产品特点

1.参数测量：粗糙度、微观轮廓尺寸、角度、面积、体积，一网打尽；

2.环境噪声检测：实时监测，纳米波动，也无可藏匿；

3.双重防撞保护：软件ZSTTOP和Z向硬件传感器，让“以卵击石"也能安然无恙；

4.自动拼接：3轴光栅闭环反馈，让3D拼接“天衣无缝"；

5.双重振动隔离：气浮隔振，吸音隔振，任你“地动山摇，我自岿然不动"。

在对精密工件表面质量要求*的如纳米材料、航空航天、半导体等领域中，现有的接触式测量方法具有测量速度慢、易划伤测量表面的缺点，而单一的光学非接触测量方法难以完成对大面形或曲率较大的高反射曲面零件三维形貌的高精度测量，只有白光干涉非接触式轮廓测量仪才能达到微型范围内重点部位的纳米级粗糙度、轮廓等参数的测量，自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。

性能特征

1、一体化操作的测量分析软件

测量数据自动统计，可视化窗口，结合自定义分析模板的自动化测量功能，实现了快速批量测量的功能，自动完成多区域的测量与分析过程。

2、高精度、高重复性

3D重建算法、精密Z向扫描模块和光学干涉技术组成的测量系统，以及能有效隔离2Hz以上频率的隔振系统，保证了测量精度和测量重复性。

3、精密操纵手柄

集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成Z向聚焦、载物台平移、找条纹等测量前工作。

4、双重防撞保护措施

（1）软件防撞保护ZSTOP

即在Z轴上设置停止位，设置位置到样品表面的距离小于镜头的工作距离，当镜头运动到该位置时，就立刻停止不再向下运动，起到保护样品和镜头的作用。

（2）Z轴硬件防撞传感器

在镜头的上方安装有机械防撞传感器，当镜头向下位移与样品表面直接接触时，触发感应器，镜头与样品表面变为软接触，并触发紧急停止开关，不再响应向下位移的指令，避免镜头和样品的损伤，双重防护，守护设备和产品，也守护每一分价值和信任。

应用领域

应用案例

Super View系列白光干涉仪国内品牌具有精度高、使用方便、功能强等优点，采用非接触式传感器扫描技术，用于对各种产品和部件的表面形貌特征进行测量和分析，它比传统的探针式轮廓仪操作方便，测量精度*高。