SJ6000激光干涉仪精密测量仪器的测量软件可以将线性测量结果生成的误差补偿表，精确的补偿，可以有效地降低运动轴的位置误差。

SJ6000激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时，采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现最高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率。具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点。

产品参数

产品型号：SJ6000

产品名称：SJ6000激光干涉仪

稳频方式：激光热稳频

稳频精度：0.05ppm

线性测量精度：0.5ppm（0-40）℃

线性测量距离：（0-80）m（无需远距离线性附件）

角度测量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

测量分辨力：1nm

动态采集频率：50KHz

预热时间：≤6分钟

工作温度范围：（0-40）℃

环境温度范围：（0-40）℃，环境湿度：0-95%

主要特点：应用范围广、测量精度高、操作方便

生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司

注释：更多详细产品信息，请联系我们获取

SJ6000激光干涉仪精密测量仪器结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在动态测量软件配合下，还可以实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。