具体型号 | VML400 |
(X/Y/Z轴)量 测行程(mm) | 400*300*200 |
全机尺寸(mm) | 1000*650*1650 |
机台底座和立柱材料 | 高精度花岗石 |
光源材质 | LED冷光源 |
X,Y轴量测精度 | (3+L/200)μm |
放大倍率 | 光学放大率:0.7--4.5X,影像放大率:28--180X |
光学尺解析度 | 1μm |
重复性 | 2μm |
操作方式 | 手动 |
CCD | 3D Family-L,41万像素,彩色 |
机台承重 | 30Kg |
镜头、光栅尺、LED冷光源、OVM Lite软体等
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