随着精密加工制造、微电子工程、光学精密工程等现代科学技术的快速发展，这对精密定位与加工技术提出了越来越高的要求，不但要求具有纳米级定位精度，而且需要能够实现大行程的加工与定位技术。芯明天针对其大行程、高精度、快速响应等要求研发设计一系列大行程多维度运动平台，在精密加工、扫描显微等领域得到广泛应用。

XD601.XYZ100压电平台

XD601.XYZ100是以压电陶瓷为驱动源并采用放大机构的3维直线运动平台，是压电与柔性铰链相结合的纳米定位系统，可达毫秒级响应、纳米级定位精度。

1.XYZ三维运动

2.行程范围X180μm，Y180μm，Z300μm

3.分辨率XY2nm，Z4nm

4.承载能力200g

XD602压电平台

XD602内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，内置高性能压电陶瓷，可实现200μm位移。采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有较高的导向精度，同时具有较好的控制精度，分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。

1.XYZ 三维运动

2.行程范围200μm/ 轴

3.分辨率8nm

4.承载能力300g

P15.XYZ300压电平台

P15.XYZ300是快速、高精度的三轴扫描及定位平台，具有非常高的直线度。中心通孔66×66mm，行程为300μm/轴，内部采用有限元分析（FEA）优化的线切割挠曲铰链结构。FEA使其设计具有尽可能高的刚度，并使线性和角度跳动小化。

1.XYZ三维运动

2.行程范围300μm/ 轴

3.分辨率6nm

4.通孔尺寸66×66mm

5.承载能力500g

P18.XYZ200压电平台

P18.XYZ200是专为需要大通光孔径、大位移行程的应用而研发设计的三维直线扫描台，可以实现200μm的扫描范围，通光孔为Ø35mm，在样品精密定位、扫描显微、干涉等领域得到了广泛的应用。

1.XYZ三维运动

2.行程范围200μm/轴

3.分辨率5nm

4.通孔尺寸Ø35mm

5.承载能力800g