压电纳米定位台的特点说明

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压电纳米定位台的特点说明

　　产品特点：

　　超薄的外形尺寸，超大的中空尺寸；

　　采用无摩擦高精度柔性铰链导向系统；

　　内置高性能的压电陶瓷，高可靠性；

　　内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈，开/闭环可供选择。

　　压电纳米定位台是采用压电陶瓷驱动的Z向纳米级精密压电纳米定位台，压电扫描台内部使用无摩擦、无回差的柔性铰链导向结构，压电定位台采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，压电平台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，确保了压电纳米定位台具有的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。中空式超薄设计，且中央通孔较大，可更好的集成于显微及扫描系统中。

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