XP-611.XYZ三维XYZ向压电纳米定位台 100μmXP-611.XYZ压电纳米定位台为三维XYZ轴运动压电平移台，采用机构放大设计原理，内置高性能压电陶瓷，可实现XYZ三轴100μm 的位移行程，柔性铰链导向机构无摩擦、无后坐力。可选择闭环版本定位精度高，是三维精密定位与扫描的理想选择。

XP-611.XYZ三维XYZ向运动纳米平移台，产品体积小巧，结构紧凑，是1~3维平面精密定位理想的选择。例如干涉光路长度校准、显微或扫描应用中的样品定位等。XP-611.XYZ为压电驱动、无摩擦、柔性导向系统，实现纳米级分辨率和毫秒的响应时间。

XP-611.XYZ三维XYZ向压电纳米定位台 100μm

特性

• 三维XYZ轴运动                   • 位移行程100μm                   • 小体积                   • 毫秒级响应速度                   •  纳米级定位精度