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XP-780一维X向压电扫描台 200μm 中孔25mm×25mm
XP-780一维X向压电扫描台 200μm 中孔25mm×25mm
XP-780系列压电扫描台采用机构放大设计原理，柔性铰链连接支撑传动，内部采用高可靠性压电陶瓷驱动，实现X轴200μm的位移，可以配置闭环传感实现高精度扫描与定位。压电平台具有25mm×25mm的通孔，适用于光学扫描。平台可以通过叠加转接的方式实现二维、三维运动。
产品特点
一维X向运动
行程可达200μm
承载可达5kg
通孔尺寸：25×25mm
闭环重复定位精度高
开/闭环可选
真空版本可选
